中古 KLA / TENCOR 2608 #9291479 を販売中

ID: 9291479
ヴィンテージ: 1994
Defect inspection system, parts machine 1994 vintage.
KLA/TENCOR 2608は、優れたイメージング、解析、欠陥検出機能を大量の製造ラインに提供するために設計された最先端のマスクおよびウェーハ検査装置です。KLA 2608システムには、ウェハマッピングやパーティクル認識、高精細イメージング、フルフィールド検査、包括的なデータ解析などの重要なアプリケーションに特化した組み込みアルゴリズムが搭載されています。TENCOR 2608ユニットには、解像度で最大800万画素の画像を収集できるマルチチャンネルビーム光学機器が含まれています。トランスミッション電子顕微鏡(TEM)を使用して基礎構造から抽出することができ、最大300万画素の解像度を提供します。このツールには、4-kVおよび10-kVの高電圧電子ビーム源も組み込まれており、これまでにないイメージングおよび解析機能を提供します。このアセットは、高度な高解像度ビデオレートイメージングモデルを使用しており、ダイ/フィーチャー認識、欠陥検出、フルフィールドイメージング、ウェハマッピングなど、さまざまな検査モードで一貫したイメージング機能を保証します。一連の独自のソフトウェアツールは、集積回路(IC)検査、マスクアライメント、フォトマスク検査、ウェハ欠陥解析、ゲートパターン認識など、欠陥検出のための比類のない精度と感度を提供します。2608装置は、特定の認識や欠陥のローカライズなど、複数のタスクを同時に実行することができます。その高度なソフトウェアアルゴリズムは、イメージングパラメータをカスタマイズおよび調整して、複数のアプリケーションタイプのパフォーマンスを最適化できます。さらに、リモートコントロールジョイスティック、ダイレクトドライブ電動ステージなど、さまざまな統合センサーを使用すると、ユーザーは手動で画像システムの動きと焦点を制御することができます。大量の製造およびプロセス制御環境で使用するために設計されたKLA/TENCOR 2608ユニットは、堅牢で実証済みです。耐久性のあるコンポーネントと機械の寿命により、ミッションクリティカルなアプリケーションでの使用に最適です。このツールはモジュラー設計も備えており、サプライヤーは時間をかけて資産をカスタマイズしてアップグレードすることができます。KLA 2608モデルは、重要な製造アプリケーションに信頼性とパフォーマンスを提供します。統合されたセンサスイート、強力なオンボードアルゴリズム、高解像度イメージングにより、大量生産におけるマスクおよびウェーハ検査に効率的かつ費用対効果の高いツールを提供します。
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