中古 KLA / TENCOR 2608 #9083810 を販売中
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KLA/TENCOR 2608は、高精度で半導体生産の欠陥を迅速に検出できるプロフェッショナルマスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、レーザー散乱計とウェーハデザインモニターで構成されており、ウェーハイメージの重要な寸法変化を迅速に特定して測定します。レーザー散乱計は、マスク/ウエハ表面の微細なディテールをキャプチャすることができ、粒子寸法およびパターン変動を高精度で分析するように設計されています。0。3 μ m以上の粒子を検出し、0。1 μ m未満の粒子を識別することができます。単位はまた各粒子のサイズ、形および位置を測定でき、見落とされたかもしれない欠陥を識別するのを助けます。ウェーハデザインモニタには統合されたデジタルイメージングプロセッサが搭載されており、観察された欠陥が設計仕様を満たしているかどうかを判断する仮想プラットフォームを提供します。ウェーハやマスクから高精度の光学データを取り込み、そのデータを分析して、潜在的なプロセスや製品の問題を正確に予測することができます。このモニタは、潜在的な欠陥の早期検出を容易にするため、半導体製造の品質管理プロセスを改善します。KLA 2608は汎用性の高いツールであり、さまざまなプロセスと生産システムに統合することができます。マルチダイ同時検査が可能であり、高度な欠陥イメージング機能により、現在および過去の欠陥を識別することができます。この強力な画像キャプチャと分析機能により、ウェーハとマスクの包括的な検査が可能になり、あらゆる不規則性を迅速に検出できます。堅牢な設計と高度な機能を備えたTENCOR 2608は、高速で信頼性の高い正確な検査結果を求める半導体製造環境に最適です。機械は、すべての最終製品が業界標準と顧客の期待に応えることを確実にするために、高い生産性、精度、精度を提供するように設計されています。
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