中古 KLA / TENCOR 2606 #199591 を販売中

KLA/TENCOR 2606は、半導体ウェーハおよびマスクの欠陥を検出するために設計された最先端のマスクおよびウェーハ検査装置です。交換可能なレチクルアダプターと光源を搭載し、比類のないレベルの精度と解像度を提供します。KLA 2606は、テレセントリック光学と独自のアルゴリズムの組み合わせを使用して、誤報率が極めて低い不良領域を検出して特定します。TENCOR 2606のテレセントリック光学系は、標本全体に均一な光パターンをキャストする能力で有名です。これにより、光源からの距離が交互になることによる異常がなくなり、正確な集中検査が可能になります。同時に、システムのZ軸ドライブは、正確なスキャンを保証する制御された動きを通して試験片を移動し、デュアルステージフィルタは不要なバックグラウンドノイズをすばやく排除します。集積回路の最適な性能を確保するためには、正確な測定データが不可欠です。2606は最も正確なパラメータを識別するために、マスクの地形、パターン、歪みの影響を考慮に入れています。例えば、ミクロン単位でエッジ配置を測定し、製造された製品の最高品質を保証することができます。KLA/TENCOR 2606は、ウェハーマスク基板の広範囲を素早くスキャンし、同時に費用対効果の高いソリューションを提供します。このユニットには200メガピクセルのArea Array Cameraが搭載されています。複雑な画像を正確なデジタル情報に低減する4つの12ビットADCを使用しており、Ultra Large Scale Integrated Circuits （ULSIC）の製造における機械設計者に最適です。KLA 2606は高速生産ラインの点検のための完全な仲間です。使いやすいこのツールは、さまざまなプログラミングオプションを提供しており、さまざまなアプリケーションに合わせて検査プロセスをカスタマイズできます。アセットの自動化機能により、迅速なセットアップと調整が可能になり、シーケンシャル分析により時間を節約できます。これらの機能はすべて、TENCOR 2606を最新の半導体技術の開発に不可欠なツールとしています。