中古 KLA / TENCOR 259HR #293635801 を販売中

KLA/TENCOR 259HRは、高度なプロセスノードの製造に完全なソリューションを提供するように設計された強力で高効率なマスクおよびウェーハ検査装置です。KLA 259HRは、自動化されたデジタル配布マスクおよびウェーハ検査システムのKLA範囲に最新の追加です。TENCOR 259HRは、欠陥、非均一性および形態のための幅広いウェーハ、マスクおよびその他のマイクロエレクトロニクス部品を検査することができる高精度の光学イメージングシステムを提供します。このユニットは、8+から16+ナノメートルまでのプロセスノードに最適化されており、110mmの視野（FOV）を備えています。非常に高解像度のサブミクロン画像処理機と標準的なビデオ検査ツールを備えています。259HRは0。5から10 μ mまで異常を検出することができます。イメージング資産には、複数のパターン型のアルゴリズムが搭載されており、欠陥や粒子の検出とマッピングが可能です。このモデルはまた、洗練されたエッジとトポグラフィーイメージング機能を提供します。KLA/TENCOR 259HRには、画像処理アルゴリズムの豊富なライブラリが組み込まれており、パターン認識を実行し、傷、ピッティング、ダスト粒子などの幅広い欠陥を特定することができます。また、ピッチ、ピッチの変化、エッジの整合性などの複雑なパターンを特徴付けることができ、リソグラフィーの誤差を特定する強力なツールであり、マスクのずれやその他のプロセス関連の影響を追跡することができます。このシステムには、リアルタイムのグローバルモニタリング、ダイナミックイメージング、リモート診断など、さまざまな高度な機能も含まれています。KLA 259HRは、欠陥検査、分析、レビューの時間と労力を最小限に抑え、ウェーハあたり200枚以上の画像を保存できます。また、業界標準の複数のデータフォーマットと互換性があり、既存のマスクおよびウェーハ生産ラインへの迅速で効率的で信頼性の高い統合を保証します。全体として、TENCOR 259HRは高度なマスクおよびウェーハ検査ユニットであり、高度なプロセスノードの製造に完全なソリューションを提供するように設計されています。その洗練されたイメージングマシンと処理アルゴリズムの配列は、自動監視と欠陥検査に最適です。259HRは、幅広い欠陥の検出と特性評価が可能であり、ウェーハあたり200枚以上の画像を保存することができ、リソグラフィー処理の制御と品質保証のための強力なツールです。