中古 KLA / TENCOR 2552 #9083783 を販売中

KLA/TENCOR 2552は、半導体製造のために設計された最先端のマスクおよびウェハ検査装置です。半導体材料、サイズ、および複雑さの広い範囲にわたる高度なイメージングおよび自動化された高感度の欠陥検査で最先端のパフォーマンスを提供します。KLA 2552システムはまた、欠陥分類、データ収集、トレンド分析、およびレポートを自動化するための包括的なソフトウェアパッケージを提供し、プロセスの品質とスループットを向上させるための不可欠なツールです。TENCOR 2552ユニットの先進的な光学機器は、マスクやウェーハ表面の迅速なイメージングを可能にし、スムーズな画像転送と並列処理により、高速化とラインレートを実現します。このレーザースキャンされた光学アーキテクチャは、モーションアーティファクトを最小限に抑える短いスポットサイズレーザーを備えており、高解像度、画像の柔軟性、非常に小さな欠陥の検査と検査のための照明角度を提供します。2552ツールには、小さな欠陥や微粒子を識別するための高度な欠陥イメージングアルゴリズムなど、さまざまな技術が含まれています。また、偏光、輪郭、エッジ検出、パターン認識などのさまざまな照明技術をサポートし、さまざまな角度や照明レベルでの高解像度イメージングを実現しています。また、ウェーハまたはマスクの表面上のさまざまなポイントから欠陥情報を収集するための柔軟なデータ収集モデルも提供します。最後に、収集されたデータを管理および分析し、トレンド分析、欠陥追跡、および高い歩留まりとプロセス最適化を確保するための統計的プロセス制御を提供するための強力なソフトウェアスイートが装備されています。全体として、KLA/TENCOR 2552は、高度なソフトウェアツールと組み合わせて優れた性能を提供する高度なマスクおよびウェーハ検査システムです。このユニットは、高解像度で再現性のあるイメージング、正確な欠陥識別、データ収集、プロセス制御を提供し、生産と研究の両方に不可欠なツールです。