中古 KLA / TENCOR 2552 #293800563 を販売中

KLA/TENCOR 2552マスク&ウェーハ検査装置は、半導体マスク、ウェーハ、フォトマスクの欠陥を検出する高性能光学検査ソリューションです。KLA 2552は、高コントラストイメージング機能により、誤欠陥アラームを迅速かつ自動的に低減し、検査精度とスループットを向上させます。このシステムの先進的な光学技術には、超微細線幅および平面の検出とイメージング、高感度のリアルタイムコントラスト調整、特徴と欠陥の自動認識、および小さな特徴の広域解析などがあります。これらの機能はすべて、高速検査プロセスを備えたユニークなモジュラープラットフォームに統合されています。TENCOR 2552は高度なコントラストイメージング技術を採用しており、様々なマスクやウエハ基板の特徴や欠陥を正確に検出し、分類することができます。シングルソース照明装置により、人間の目が見ることができるよりも小さい0。1 μ mの極小ラインとスペースを検出することができます。強力なコントラスト検出器は、各機能または欠陥のコントラストを正確に測定および分類し、アセットが事前に定義された基準に一致しないものを識別してフラグを付けることができます。また、特許取得済みのラインスペース測定機能を使用して、ラインペア間の重要なスペースを正確に測定し、コントラスト設定をカスタマイズして一貫した正確な欠陥認識を実現します。これは、高品質のプロセスを提供し、誤報を排除するのに役立ちます。さらに、2552は、明るいフィールド、暗いフィールド、色、偏光などの幅広いイメージングモードを提供しており、ユーザーはさまざまな基板およびプロセス要件に対応するためにイメージングニーズをカスタマイズすることができます。全体として、KLA/TENCOR 2552マスク&ウェーハ検査装置は、最高レベルの精度と広範囲の画像処理機能を光学検査で提供します。システムの高度な光学技術と自動検出プロセスにより、マスクおよびウェーハ基板の迅速で正確で信頼性の高い検査が可能になります。