中古 KLA / TENCOR 2552 #293616227 を販売中

ID: 293616227
Wafer inspection system.
KLA/TENCOR 2552マスクおよびウェハ検査装置は、さまざまな材料のスキャンを提供する汎用性の高い、高速かつ正確な検出システムです。光源で検査する項目を照射し、高解像度CCDカメラまたは光学顕微鏡で項目の画像をキャプチャすることで動作します。このユニットは、ウェーハやMEMSデバイスからナノスケールの機能まで、あらゆるタイプのダイ、マスク、ウェーハ材料の重要な寸法と特徴検出を測定することができます。検査装置は、高度な画像処理機能、高速なデータ取得速度、リアルタイム画像処理、および簡単に操作できる高度な解析エンジンを備えています。KLA 2552は、自動化された顕微鏡カメラと光学フォーカスレジスタを使用して、最も困難な金型およびマスク計測タスクの自動高解像度イメージングを提供します。その誘電バリアツール(DBS)は、高解像度イメージングおよびデータ収集の分野におけるテラバイトのデータの効率的な収集を可能にする、さらに大きな電力を追加します。DBS機能は高度な信号処理アルゴリズムを使用しており、ダイまたはマスク表面の欠陥およびその他の機能の検出に大きな改善をもたらします。さらに、アセットには調整可能な作業距離があり、必要に応じて8〜20 mmの間で調整することができ、より大きな金型の検査に最適です。これは、Microner Opti-stable Specular Finishを含む高度な光学設計によって補完されています。これにより、モデル内に配置された光学フィルタが検査プロセス全体で安定して信頼性が高いことが保証されます。TENCOR 2552マスクおよびウェーハ検査装置には、検査ジョブの精度と再現性を最大化するための他の機能と機能が多数搭載されています。これには、自動化されたデータ分析、メタデータのキャプチャ、テスト結果の通知が含まれ、信頼性の高い再現性の高いテスト結果を得ることができます。さらに、アップグレード可能なソフトウェアパッケージは、機能検出とソース検出、欠陥検出と分析、エリアのカバレッジ分析、プロセス分析などの追加機能を提供できます。包括的なソフトウェアパッケージには、ウェハマッピングソフトウェアと登録マークのツールも含まれており、システムのデータキャプチャと結果の精度を向上させます。これらを組み合わせることで、マスクやウェーハの検査作業に最適なソリューションとなります。ダイ、マスク、またはウェハアプリケーションのための効果的で効率的で信頼性の高い検査機をお探しの方は、2552を超えないようにしてください。
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