中古 KLA / TENCOR 2552 Analysis Station #9139562 を販売中
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ID: 9139562
ヴィンテージ: 1999
Wafer inspection systems
Analysis station data processing
1999 vintage.
KLA/TENCOR 2552 Analysis Stationは、さまざまなマスクおよびウェーハ基板の高度な分析を容易にするように設計されたマスクおよびウェーハ検査装置です。高度な光学システムを備えた2552は、パターン化された光学構造を通じて高解像度の2Dイメージングおよび3Dイメージング機能を提供します。これにより、半導体デバイスの特徴サイズと重要寸法を正確に測定できます。2552光学イメージングユニットは、高い対称性、低い収差を持つテレセントリック光マシン(TSOS)で構成されています。これにより、補正を必要とせずに高解像度のイメージング機能と、最小の機能でも高速で正確な測定が可能になります。TSOSは、最も広いダイナミックレンジからの測定を可能にし、エッジ効果、非均一性、フィールド間の違いからオペレータに依存する影響を最小限に抑えて正確な結果を保証します。2552の高性能イメージングツールは、デジタルイメージ強化アルゴリズムを使用して、すでに印象的な解像度機能をさらに向上させます。これらのアルゴリズムにより、コントラスト、ダイナミックレンジ、ノイズリダクション、画像アーティファクト除去、画像強化が可能になります。これらすべては、最も困難な画像や測定を視覚化することができます。2552アセットには、効率的で正確なワークフローを容易にするように設計されたインテリジェントオートメーションモデルもあります。これには、最先端の検査および測定ソフトウェアが含まれており、検査、測定、および分析ルーチンを迅速かつ簡単に設定および実行できます。さらに、2552は自動化されたサンプルスキャンのための2軸電動ステージの使用、画像のフォーカシング、ズーム、回転にも対応しています。2552の人間工学に基づいたコンパクトな設計により、業界で最も汎用性が高くユーザーフレンドリーな分析ステーションの1つです。ユーザーフレンドリーなインターフェイス、直感的なナビゲーションメニュー、高度なイメージングおよびオートメーション機能を備えた2552は、価値とパフォーマンスの最高の組み合わせを提供するように設計されています。2552は、安全で正確な測定と分析機能を必要とするラボやデバイス開発環境に最適なオプションです。KLA 2552 Analysis Stationは、高度な画像処理装置と車載システムを備えており、デバイスが正確かつ確実に検査および分析されていることをユーザーに確信させます。
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