中古 KLA / TENCOR 2438 Viper #9399303 を販売中

KLA/TENCOR 2438バイパーマスクおよびウェーハ検査装置は、マイクロエレクトロニクス業界の厳しいニーズを満たすように設計された最先端のビジョンベースの検査システムです。KLA 2438 Viperは、優れた検査精度と高いスループットレートを提供し、最先端のプロセス制御と信頼性の要件を実現します。TENCOR 2438バイパーユニットの主要コンポーネントには、高解像度デジタルカメラ、高精度ロボットステージ、ImageToolソフトウェア、および制御ハードウェアが含まれます。カメラの5メガピクセルCMOSセンサーは、2。6 µmのピクセルサイズで、マスクとウェーハの両方の高解像度画像を収集します。ロボットステージは、検査エリア全体にサンプル基板を正確に移動させることができ、自動校正を利用して精度と再現性を確保します。その高度なImageToolソフトウェアは、欠陥、摩耗、および歩留まりの損失と不均一性を引き起こすその他の機能のマスクとウェーハの両方を迅速かつ正確に評価するように設計された自動検査および測定アルゴリズムの統合スイートです。このソフトウェアは、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス、カスタマイズ可能なランタイムプロファイルを備えており、迅速で反復可能な検査、下流の分析およびレビューツールとの統合が可能です。2438 Viperマシンの制御ハードウェアには、直感的なユーザーインターフェイス、モーションコントロールとコーディングコントロール、ツールの安全管理、および統合されたローカルおよびリモート診断が含まれます。ソフトウェアのアラームとレポート機能は、ユーザーに異常を警告し、資産パフォーマンスの詳細な分析を可能にします。KLA/TENCOR 2438バイパーマスクおよびウェーハ検査モデルは、ウェーハの歩留まり、欠陥、およびプロセス性能に関する信頼性の高い詳細な機械生成情報を提供します。自動化された機能により、手動オペレータの介入を減らし、迅速で再現性のある検査性能を保証し、高解像度の画像処理および分析機能により、徹底した分析とクローズドループのフィードバックを可能にし、プロセス制御と歩留まりの向上を実現します。