中古 KLA / TENCOR 2430 Viper #293821669 を販売中

KLA/TENCOR 2430バイパーは、高度なリソグラフィ技術ノード向けに設計された高精度、多機能マスクおよびウェハ検査装置です。KLA 2430 Viperは、スペクトル、フォーム、欠陥リストベースの画期的な組み合わせを使用して、高度なマスクおよびウェーハ画像の10ミクロンの特徴を高精度で検査します。TENCOR 2430 Viperは、独自のラインプロファイルアルゴリズムと広い視野の光学ユニットを組み合わせた先駆的な2つの裏面照明システムを使用して、複雑さに関係なく、大きな基板上の最小の欠陥でも迅速かつ正確に検出できます。2430バイパーは、ウェーハの両側で高分解能測定と欠陥検査の両方を可能にするために構築されています。両面照明装置は、裏面にLCT （Lateral Color Techniques）を採用し、前面には高度な可変波長露光と偏光受信機を搭載しています。この照明剤の組み合わせにより、KLA/TENCOR 2430バイパーは、内部と外部の両方の形状を正確に検査および測定することができます。KLA 2430 Viperは、粒子（汚染物質）検出、異物検出（FMD）、ライン散乱解析（LSA）、エッジまっすぐ測定（ESM）、干渉検出（ストロボ検出）、干渉検出（ストロボ検出）などの高度な欠陥検出機能を備えています。TENCOR 2430 Viperには、精密なラインプロファイル測定、光学フィールド登録、飛行中および画像解析などの高度な計測機器も含まれています。これらはすべて、ウェーハ構造の微妙な変化を正確かつ明確に識別することができます。最後に、2430 Viperには革新的なデータロギングと統計機能が搭載されており、KLA/TENCOR 2430 Viperは後で分析とレビューを行うためのデータベースにプロセス情報を記録することができます。これはオペレータに比類のない量のデータを提供し、製品が仕様内で動作していることを確認するために使用することができます。さらに、KLA 2430 Viperの革新的なソフトウェアにより、検査レシピを迅速かつ簡単にカスタマイズし、セットアップをテストして、さまざまなサイズと機能の基板を効率的かつ正確に検査および測定できます。要するに、TENCOR 2430 Viperは、強力で高度なマスクおよびウェーハ検査ツールで、大型基板上の微細な機能を検査するように設計されています。最先端の光学技術と高度な欠陥検出システムを組み合わせることで、2430バイパーは最小の欠陥でも迅速かつ正確に検出することができ、同時に膨大な量のデータロギングと分析機能を提供します。