中古 KLA / TENCOR 2410 Viper #9206451 を販売中

KLA/TENCOR 2410 Viperは、高性能な自動マスクおよびウェーハ検査システムです。バイパーは、半導体製造業界のリトグラファーおよびパッケージングエンジニア向けに設計されており、ウェハレベルおよびレチクルレベルのマスク検査の両方に、包括的な物理的欠陥検出とインラインプロセス制御を提供します。Viperは、革新的な「DualVision」光学イメージングアーキテクチャを使用して、0。5ミクロンの解像度、高感度検査、0。2ミクロンのオーバーレイ精度をCDおよびパターン検査画像の両方に提供します。直感的で使いやすいユーザーインターフェイスにより、データキャプチャ、分析、レポート作成が可能です。バイパーには、設計段階と製造段階の両方で欠陥を検出する特許取得済みの「レーザーイメージングシステム」（LIS）も含まれており、他の主要なマスク検査システムよりも幅広いカバレッジを提供します。Viperは、欠陥検査とプロセス制御を統合することができ、カメラレベルのプロセス制御と高度な欠陥分類機能を内蔵しています。さらに、インファブ生産にも対応しており、サイクルタイムは5分とハイスループットの自動データ解析が可能です。高度な自動化機能と組み込みのプロセス制御アルゴリズムにより、ユーザーは自信を持ってプロセスの変更をすばやく検出、可視化、測定できます。バイパーには、エッジやコーナーの検査を素早く開始または停止できる「パターンエッジとコーナートリガー」、ステッチやリアライメント時に複数の露出領域を整列させる「マルチエクスポージャー・ステッチ」機能、任意のサイズのオブジェクトをすばやく検査する「オープンビーム検査」技術など、多くの高度な機能が搭載されています。KLA 2410 Viperは、高性能マスクおよびウェーハ検査に最適なソリューションです。高速、正確、直感的に使用でき、包括的な欠陥検出とプロセス制御を提供します。高度な機能と簡単なセットアップにより、リトグラファーやパッケージングエンジニアに最適なシステムです。