中古 KLA / TENCOR 2410 Viper #9152918 を販売中

KLA/TENCOR 2410バイパーは、ウェーハおよびフォトマスク表面の非常に小さな欠陥を迅速かつ正確に検出および測定できる自動光検査（AOI）装置です。最大側長200mmのウェーハとマスクを検査するように設計されています。KLA 2410 Viperは、2つの主要コンポーネントを備えた最先端のVision Inspection System （VIS）です。1つ目は、テレセントリック光学装置を使用して、最大200mmの広い視野から明るいフィールドと暗いフィールドの両方の画像をキャプチャする光学イメージングユニットです。2つ目のコンポーネントはHPPP （High Performance Processor Platform）で、多数の画像を処理し、ウェーハやマスクに存在する微妙な欠陥を検出するために使用されます。TENCOR 2410 Viperは、ADR （Automated Defect Recognition）ツールを使用して、30nmの小さい機能を検出できます。ADRアセットは、迅速かつ正確な欠陥識別を可能にするアルゴリズムを利用しています。また、10nmまでの特徴を測定し、欠陥の直径と線形距離を測定することができます。2410 Viperはソフトウェアを使用してビジョンモデルを制御および調整し、さまざまな検査タスクを実行する際に複雑な問題を解決します。ユーザーフレンドリーで、リアルタイムのオペレータ機器などの機能が含まれています。このシステムは使いやすく、検査プロセスの運用性能と生産性を向上させるのに役立ちます。KLA/TENCOR 2410バイパーは、高感度で幅広い検査機能を備えています。高速処理のおかげで、利用可能な他の同様のシステムを簡単に上回ります。また、計測ツールなどの他の機器との互換性を容易にするさまざまな外部インタフェースも含まれています。全体として、KLA 2410 Viperは、優れた光学系、堅牢なパターンマッチングアルゴリズム、および汎用性の高いインターフェースを備えた信頼性の高い強力なAOIユニットです。さまざまな検査作業で正確で信頼性の高い結果を保証するために使用できるツールです。