中古 KLA / TENCOR 2410 Viper #9136881 を販売中

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KLA / TENCOR 2410 Viper
販売された
ID: 9136881
ウェーハサイズ: 8"-12"
Macro-defect inspection system, 8"-12".
KLA/TENCOR 2410バイパーは、マスクおよびウェハ検査に使用される高速自動化機械です。この装置は、リソグラフィックマスク、ウェーハ、およびレチクルの光学検査に費用対効果の高いソリューションを提供するように設計されています。KLA 2410 Viperはモジュラープラットフォームであり、お客様独自の構成を構築できます。強力なイメージング、サンプル操作、および包括的な計測機能を備えています。TENCOR 2410バイパーシステムは、最大18段階のサンプルステージを備えた高精度の自動サンプルポジショニングを備えています。さらに、高度な5軸XYZポジショニングユニットを備えており、正確で一貫したサンプル配置を保証します。また、最大8メガピクセルの高解像度イメージングツールを内蔵しており、非常に高いレベルのディテールと精度を提供します。先進の320nm光源を内蔵しており、様々な角度から標本を照らすことができ、マスク、ウェーハ、レチクルの検査に最適です。2410バイパーは、自動欠陥検出(ADD)機能も備えています。これにより、アセットは、最大99。9%の精度で試験片の欠陥を自動的に検出および分類することができます。サンプルの種類ごとに検査レシピをカスタマイズでき、傷やフォトリソグラフィーエラーなどの複雑な欠陥を検出して分類することもできます。このモデルは外部計測システムと統合することもでき、ウェーハの3D解析を自動化することができます。KLA/TENCOR 2410 Viperは効率的で信頼性の高い設計を念頭に置いて設計されており、セットアップとダウンタイムを最小限に抑えてサンプルを迅速かつ正確に検査できます。他の主要機器ベンダーとの完全な統合がサポートされているため、他の機械やシステムとの簡単なセットアップと統合が可能です。さらに、KLA 2410 Viperは使いやすいユーザーインターフェイスを備えており、オペレータは機器を素早くセットアップして使用することができます。全体的に、TENCOR 2410 Viperはマスクおよびウェーハの点検のために設計されている強力な機械です。これは、リソグラフィックマスク、ウェーハ、およびレチクルの光学検査に理想的な費用対効果の高いソリューションです。モジュラープラットフォーム、強力なイメージング機能、自動欠陥検出および分類機能を備えています。最後に、優れたユーザーインターフェイスと主要機器ベンダーとの完全な統合を備えており、市場で最高のマスクおよびウェーハ検査システムの1つです。
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