中古 KLA / TENCOR 2401 Viper #9195297 を販売中

KLA/TENCOR 2401バイパーは、高い精度と信頼性でパターン欠陥を検出するように設計された自動マスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、マスクの表面を分析するために使用される2つのスキャンレーザーで構成されています。このプロセスは欠陥レビューとして知られています。このユニットは、欠陥を正確に識別するために「知覚」と呼ばれるユニークな2つのレーザーマシンを使用しています。このツールは、2つの独立したスキャンレーザーを使用して、さまざまな角度から欠陥レビュー情報を同時に収集します。これにより、サンプルの検査に要する時間を短縮し、結果の精度を向上させることができます。さらに、アセットには、従来の方法では検出が困難な異常を検出できる高度なアルゴリズムが含まれています。KLA 2401 Viperのイメージング機能により、ユーザーはサンプル画像をすばやくレビューできます。画像解像度は、欠陥修復、欠陥分離、パス/フェイル、アライメントなど、検査プロセスのさまざまな段階でさまざまな設定に選択できます。また、高精度の光学ステージを使用して、ウエハやマスクのサンプルを3軸方向に正確に移動させます。これにより、プロセス全体をより大きな制御できます。統合されたキャリブレーションソフトウェアにより、ユーザーは機器全体で一貫したスキャンパラメータを維持できます。また、バーコードリーダーを搭載し、検査データを素早く正確に記録することができます。最後に、TENCOR 2401 Viperのソフトウェアパッケージは、ウェーハやマスクを検査する際に最高レベルの信頼性と精度を保証する包括的な機能を提供します。これらの機能には、画像レビューツール、欠陥識別および位置ツール、自動ユーザーガイド、包括的なデータおよび欠陥レポート、およびデータを簡単にバックアップおよび保存するためのツールが含まれます。これらのすべての機能により、2401 Viperはさまざまなマスクおよびウェーハ検査タスクに最適です。