中古 KLA / TENCOR 2401 Viper #9186868 を販売中

KLA/TENCOR 2401 Viperは、包括的な欠陥検出機能を提供するように設計された自動マスクおよびウェーハ検査ツールです。半導体製造プロセスでは、マスク、ウェーハ、およびダイ表面の欠陥や汚染物質の検査に使用されます。KLA 2401 Viperは、高度なパターン認識アルゴリズムと光学を使用して、画像の欠陥を検出および分類します。高解像度カラーCCDカメラ、偏光モジュール、白色LED照明を搭載し、検査したマスクやウエハの画像をキャプチャして解析します。TENCOR 2401 Viperには、マスクまたはウェーハを検査ゾーンに出入りするための自動ステージも含まれています。2401 Viperは、超低ノイズ性能を備えた高速生産レベルの検査を提供します。1時間に最大60個のウェーハで動作可能で、1ミクロンの欠陥を検出することができます。KLA/TENCOR 2401バイパーは、広い領域と高いアスペクト比を検査することもでき、ウェーハとマスクの互換性を高めることができます。KLA 2401 Viperのユーザーフレンドリーなインターフェイスには、検出された異常を示すフル機能のテキスト、グラフィックス、およびサウンドアラームが含まれています。また、システムのパフォーマンスを最適化するために、フィルタとスキャンパラメータのオンボードライブラリも組み込まれています。このライブラリは、ウェーハエッジまたはレチクルグリッド上のさまざまなサンプリングポイントに対応するように構成でき、ユーザーは歩留まりとスループットを最大化できます。TENCOR 2401 Viperは、異粒子からボイドまたはピットまで、幅広い欠陥タイプを検出できるオールインワン検出技術も備えています。このシステムは、自動検査と手動検査の両方を組み合わせており、正確な欠陥の選択と分類を可能にします。このシステムは、低強度または低確率の異常をフィルタリングするために、バックグラウンドマッチングアルゴリズムを使用して事前にプログラムすることができます。2401バイパーは、小さな異常を検出し、運用コストを削減し、歩留まりを最適化するために設計された効果的で信頼性の高いマスクおよびウェーハ検査ツールです。KLA/TENCOR 2401 Viperは、高速かつ高度な欠陥分類機能により、スループットを向上させ、検査プロセスにおける正確なインテリジェンスをユーザーに提供します。