中古 KLA / TENCOR 2401 Viper #9176353 を販売中

KLA/TENCOR 2401 Viperは、サブミクロン粒子、欠陥、その他の品質問題を検出するために使用される高度なマスクおよびウェーハ検査システムです。マスクやウェハサンプルを照射する水晶ハロゲン光源を用いて動作し、遠心光学系を用いて高解像度の画像を撮影します。KLA 2401 Viperには、独自のアルゴリズムを使用して高精度で信頼性の高い粒子や欠陥を検出する組み込みSENTry技術が含まれています。このシステムには強力なソフトウェアツールが装備されており、異なる光学構成を簡単に切り替えることができ、1つの検査でさまざまな場所で異なる表面および微細構造の特徴を分析することができます。光学パスを独立して制御する機能やズーム設定などの追加機能により、サンプルの特定の領域のコントラストと詳細な監視を強化できます。TENCOR 2401 Viperは、パーティクルおよび欠陥解析に加えて、マスクおよびウェーハサンプルのさまざまな特徴を測定することもできます。低光量オートフォーカス機能により、高コントラスト画像が生成され、サブミクロン精度で重要なサンプル寸法を正確に測定することができます。この機能は、オブジェクトの変位またはサンプルのサーフェスの不一致による誤検出の可能性を低減するのにも役立ちます。2401バイパーは、再現性、信頼性、およびマスクとウェーハの生産のための強化されたスループットを提供します。直感的で使いやすいグラフィカルインターフェイスと強力なソフトウェアおよびハードウェア機能により、幅広い生産設備にとって貴重な検査ソリューションとなります。