中古 KLA / TENCOR 2401 Viper #9160676 を販売中

KLA/TENCOR 2401バイパーは、集積回路デバイスの製造工程で使用されるマスクおよびウェハ検査装置です。このシステムは、高度な光学、照明、画像処理技術を利用して、今日利用可能な最高解像度、最高速度、および最も信頼性の高い分析を提供します。このユニットは、強力なイメージングエンジン、高解像度のイメージングアレイ、およびS2535モーションコントロールマシンで構成されています。イメージングエンジンは、UV-VIS-IRレンジで高感度を提供する特殊光学を備えた16メガピクセルのCCDカメラを備えています。これにより、KLA 2401 Viperは、傷、傷、汚染物質、残留物、粒子などの最小の欠陥をキャプチャして検査することができます。高解像度イメージングアレイは最大8メガピクセルで構成され、ステッチされていないソリューションと比較して最大8倍の解像度を提供します。また、高いダイナミックレンジで検出精度を向上させます。S2535モーションコントロールツールには、x、 y、およびz軸での正確で反復可能な動きを可能にするモーションフィードバック資産が装備されています。これにより、マスクまたはウェーハの表面への光学系の最適な焦点と相対的な位置決めが保証されます。TENCOR 2401 Viperには、検査、分析、報告のためのさまざまなソフトウェアツールが装備されています。特許取得済みのSmart Imaging Analysisテクノロジーを使用して、高速で信頼性の高い再現可能な解析を提供します。さらに、パターン認識技術を利用して欠陥を特定します。これにより誤検知が低減され、従来の検査方法と比較して高いスループットが得られます。また、外部データベースやファイルシステムに接続することもでき、データ管理とトレーサビリティを可能にします。2401バイパーは、マスクやウェハの検査に高解像度、高スループット、高精度を必要とする半導体メーカーに適しています。欠陥検査、粒子分析、計測、歩留まり向上、その他のプロセス制御ニーズなど、さまざまな用途に使用することを目的としています。KLA/TENCOR 2401バイパーは製造プロセスに簡単に統合でき、既存のオートメーションシステムに接続できます。また、幅広いアクセサリーとオプションが付属しているため、ユーザーは特定のニーズに合わせてモデルをカスタマイズできます。