中古 KLA / TENCOR 2401 Viper #9138017 を販売中

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ID: 9138017
ヴィンテージ: 2000
Automated macro-defect inspection system, Supply voltage: 100-120, 200-240 VAC Phases/Frequency: 1 Phase / 50-60 Hz Full load current: 4.0 Amps at 120 VAC 3.5 Amps at 220 VAC Interrupt capacity: 10,000 Amps 2000 vintage.
KLA/TENCOR 2401 Viperは、さまざまな半導体アプリケーションの欠陥検出と歩留まり向上を高速化するために設計された最先端のマスクおよびウェハ検査装置です。主な機能には、超高解像度の光学イメージング、デュアル光源照明、自動欠陥レビューと分類、機械学習機能などがあります。KLA 2401 Viperは独自の5レベル検査アーキテクチャを使用して、最高の精度とカバレッジを保証します。最初のレベルは、インライン検査システム(ILIS)ベースのプリスクリーニングであり、迅速な欠陥検出とローカリゼーションを提供します。これに続いて、第2レベルのイメージベースの検査ユニットがあり、より高い精度とより大きな欠陥認識のための高解像度イメージングを提供します。その後、特徴認識に基づく第三レベルの検査機が登場し、欠陥のカバレッジと精度が向上します。第四のレベルはオーバーレイヤー検査であり、一般的にあまり高度なシステムでは検出できない微細な構造ニュアンスを検出します。最後に、第5レベルは自動レビューと分類ツールであり、機械学習ベースの拒否決定資産と組み合わされています。TENCOR 2401 Viperには、プロセスエンジニアが各検査ステップを制御するパフォーマンスパラメータを完全に制御できるように設計された統合された測定および制御オプションも含まれています。これらの機能は、最適な欠陥検出および検査速度のためのプロセスパラメータを最適化するために使用できます。さらに、2401 Viperは高度にカスタマイズ可能なレポート機能を提供し、分析の容易さと実用的なインサイトの生成を可能にします。さらに、ユーザーフレンドリーなインターフェイスにより、迅速かつ簡単な設定とカスタマイズが可能です。KLA/TENCOR 2401 Viperは、さまざまな洗練された技術を使用して、堅牢で信頼性の高いパフォーマンスを保証します。これらには、実証済みの照明と独自の画像解析モデルが含まれます。さらに、革新的なセグメンテーションアルゴリズムを使用して、複雑な欠陥フィーチャーの高速解析を可能にします。さらに、KLA 2401 Viperは、完全にカスタマイズ可能な欠陥ライブラリを備えた構造化されたソフトウェアパッケージでサポートされており、お客様の目標に応じて簡単にカスタマイズできます。全体として、TENCOR 2401 Viperは業界をリードするマスクおよびウェーハ検査装置であり、さまざまな半導体アプリケーションで迅速な欠陥検出と歩留まり向上を実現するように設計された幅広い機能と機能を備えています。高度な光学イメージング、機械学習機能、柔軟な制御システムを組み合わせることで、あらゆる半導体製造事業にとって非常に貴重な資産となります。
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