中古 KLA / TENCOR 2401 Viper #9014087 を販売中

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ID: 9014087
ヴィンテージ: 1999
Automated macro-defect wafer inspection system Brightfield and darkfield inspection Throughput: 80 Wafer/hour Recipe-configurable pass / Fail settings Camera and optics calibration capability Windows NT user interface Hard drive missing Frequency: 50/60 Hz Volts: 100-240 Power: 200-240, Single phase 1999 vintage.
KLA/TENCOR 2401バイパーは、高い性能と精度を提供するマスクおよびウェハ検査装置です。このシステムは、マスク、レチクル、およびその他の接触基板上の3D表面だけでなく、フラットウエハの両方を検査するのに最適です。KLA 2401 Viperは、30nmピッチまでの詳細を調べることができる高解像度CCD検出器を使用しています。この検出器は、広範囲のイメージング角度をキャプチャすることも可能で、さまざまなイメージング角度からの高精度なフィードバックを得ることができます。バイパーイルミネータは、UV、 VIS、 NIR、 ARなど、さまざまなスペクトルをキャプチャできます。このマシンは、さまざまな4ウェイフィルターとレーザーを使用するように構成することができ、柔軟性と制御性を高めることができます。バイパーには高度な画像処理アルゴリズムが搭載されており、光学的欠陥とウェーハ欠陥の種類、およびリソグラフィによる収差の両方を検査することができます。Viperは、通常1〜2秒の高速検査時間を提供し、後でレビューするために最大4000枚の画像を保存できます。ユーザーインターフェイスの面では、TENCOR 2401 Viperには直感的なGUIがあり、ユーザーはツールを迅速かつ効率的に制御できます。オペレータパネルには、段階的なトレーニングとパラメータ設定に使用される5キーパッドボタンがあります。このアセットには、画像の比較を容易にする高度な解析モデルや、後でレビューするための個々の画像を保存する機能も備えています。2401 Viperは、効率的なプログラミング、高度な画像処理アルゴリズム、高速画像処理時間、直感的なユーザーインターフェイス、および高解像度の画像処理機能を組み合わせることで、信頼性の高い正確な検査結果を提供します。この装置は、レチクル、マスク、または他の接触基板の表面欠陥に近いタブを保つための費用対効果の高い方法です。このシステムは、商業および研究の両方の設定のための貴重な資産であることができます、所望の製品や研究成果を確実にすることができる品質管理と保証を提供します。
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