中古 KLA / TENCOR 239E #9041907 を販売中

KLA / TENCOR 239E
ID: 9041907
Mask inspection system.
KLA/TENCOR 239Eマスクおよびウェーハ検査装置は、プリント基板および半導体デバイスの製造に使用されるマスクおよびウェーハ部品の重要な光学的および電気的特性を検査する業界をリードするツールです。KLA 239Eは、先進的なレーザーおよびマシンビジョン触覚検査技術と革新的な独自の計測システムを採用し、ピン/パッドショーツ、残留物、ブリッジ、ブレーク、ミスアラインメントなど、サブミクロンサイズまでの欠陥を検出および特性評価します。使いやすさとパフォーマンスのために設計されたTENCOR 239Eは、同時電源、雷、および光学検査機能を備えたマルチセンサーシステムです。TetraTileテクノロジーを使用した自動アライメント、高解像度イメージング、および2つの異なる角度からの検査を可能にする独自のデュアルビジョン機能を備えています。OmniViewとレーザーの両方の位置を同時に使用することで、最も困難なマスクターゲットでも欠陥を検出できます。また、直感的なウェーハマップディスプレイと強化されたプログラム可能なチップテンプレートを備えたシンプルなユーザーインターフェイスを備えています。239Eの独自のトリブリッド光学設計には、レーザー、CCDカメラ、マスクの3つのコンポーネントが組み込まれており、ウェーハ部品の洗練された画像をキャプチャし、最も微細な欠陥を検出します。100umあたり65個のターコイズピクセルでミクロンレベルの解像度の画像をキャプチャできます。KLA/TENCOR 239EのLEDベースのパワーメカニズムは、正確なピクセル測定を1。0umに確実にすることにより、スループットと信頼性を向上させます。計測のために、KLA 239EはSuss NanoAnalysisソフトウェアと統合されており、ユーザーは重要な寸法、フィーチャーの高さとサイズ、ウェーハプロファイル、センターライン、エッジ登録を制御できます。この強力なソフトウェアツールは、複雑なコンポーネントの3D形状を決定し、測定結果を使用してレポートを作成し、データを分析する機能をユーザーに提供します。全体として、TENCOR 239Eマスクおよびウェーハ検査機は、品質と歩留まりの向上のために迅速で効率的で信頼性の高い欠陥検出および測定機能を提供します。洗練された正確な検査ツールを探している組織にとって理想的なソリューションです。
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