中古 KLA / TENCOR 2370 #9083809 を販売中

KLA / TENCOR 2370
ID: 9083809
Wafer inspection system.
KLA/TENCOR 2370マスクおよびウェーハ検査装置は、マスクおよびウェーハメーカーにとって貴重なツールです。このシステムは、高度な光学技術、画像比較、パターン認識を利用して欠陥を特定し、ウェーハイメージの機能と歩留まりの両方を正確に検査します。このユニットは、1インチから12インチまでのサイズのフォトマスクやウェーハなど、さまざまな基板を検査するように設計されています。高解像度CCDカメラを搭載したスキャンヘッドと強力なLED照明装置を使用して、正確で明瞭な画像をキャプチャします。画像は、欠陥の存在を検出し、参照データベースと画像を比較する高度なソフトウェアアルゴリズムを使用して分析されます。これにより、ウェーハとフォトマスクの両方の画像をより迅速かつ正確に検査できます。このツールは、統合された自動計測およびCD/NSL測定機能も備えています。これにより、粒子、ラインエッジ、ライン幅の粗さ、および重複して絶縁されたラインの検出が可能になります。これにより、マスクとウェーハメーカーは、製品が精度と機能性のための業界標準を満たしていることを保証します。さらに、KLA 2370には強力なエッジ検出エンジンがあり、基板の正確なアライメントと欠陥検出の精度の向上を可能にします。これは、収量を増加させ、スクラップに関連するコストを削減するのに役立ちます。このアセットは、自動ビジョンカメラを使用して最大4つの位置からターゲットを選択し、複数の基板を一度に検査することもできます。全体として、TENCOR 2370はマスクとウェーハメーカーにとって貴重なツールを提供します。高精度のイメージキャプチャと自動計測により、基板を徹底的かつ正確に検査できます。さらに、自動ビジョンカメラ、強力なエッジ検出、および複数の基板スキャン機能により、歩留まり損失を最小限に抑えたハイスループット生産に最適です。
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