中古 KLA / TENCOR 2367 #9226903 を販売中
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販売された
ID: 9226903
ウェーハサイズ: 12"
Bright field patterned inspection system, 12"
(2) Load ports with FOUP capable (ASYST)
RFID Type: Load ports carrier reader
Robot: YASKAWA
Light source: 350 W Hg-Xe illumination
Image process system: TDI (3200MPPS)
Resolution: 120 nm
Pixel size: 0.12, 0.16, 0.20, 0.25, 0.39, 0.62 um
Special function: Edge contrast illumination mode
Light mode:
I-Line
G-line
Broadband UV
Visible
User interface
Power condition
Missing parts:
Qty Part no Description
(16) 0076508-000 Tested, SDB1600 MPX, v2 (Sensor daughter boards)
(1) 0279583-000 FRU assy, amplifier, stage,z
(1) 0093388-001 Tested, PSB 3200 MPX, boards b(DC to DC board)
(1) 730-774350-001 Cable, mac-d to x flex signal
(5) 0086079-002 Tested, input data adaptors (IDA PCB)
(1) 0031224-003 Assy, filter wheel,236x
(1) 730-733835-001 Cable, mac to mac-d power
(1) 730-772676-002 Cable, pneumatic solenoid pigtail
(1) 0095782-000 Assy, fiber optic node 0 to 5
(1) 0095784-000 Assy, fiber optic node 2 to 6
(1) 0095785-000 Assy, fiber optic node 3 to 7
(1) 0095787-000 Assy, fiber optic node 4 to 8
(1) 0095789-000 Assy, fiber optic node 5 to 9
(1) 0095791-000 Assy, fiber optic node 6 to 10
(1) 0095792-000 Assy, fiber optic node 7 to 11
(1) 0103943-000 Assy, fo, TDC 0 out, CRTA to node 0-1
(1) 0103944-000 Assy, fo, TDC 1 out, CRTA to node 2-3
(1) 0103945-000 Assy, SGB out to R tap
(1) 0095216-000 Net gear 24 ports net switch plus mounting bracket in UI box
(1) 0115395-000 Upper, monitor (VDU) in UI
(1) 0119930-000 G5 x-server R tap (APPLE Image system)
(4) 0101705-000 Assy, tested, G5 x-server nodes
(2) 0276654-000 FRU assy, tested power supplies, m31 host/n
(1) PN Unknown Trackball mouse on UI unit
(1) 0083821-000 Line conditioner (Mains transformer)
(3) 0298771-000 Image computer (APPLE) hard discs
(6) 0066560-000 SCC DELL Computer hard discs.
KLA/TENCOR 2367は、完全に自動化された非接触マスクおよびウェハ検査装置です。フォトマスクやウェーハ上のパターンレイアウトの欠陥検出、重大な寸法測定、モニタリング用に設計されています。このシステムは、高度なパターン認識と独自の光学系を使用して、マスクとウェーハの前面と背面の両方の平面欠陥と3D欠陥を自発的に識別します。また、直感的で使いやすいソフトウェアインターフェイスを備えているため、経験豊富なユーザーと初心者のユーザーの両方がプロセスの最適化を迅速かつ効率的にプログラムおよび監視できます。このユニットは、4インチから12インチまでのウェーハ、4インチから25インチまでのマスクなど、さまざまな部品に対応するように構成することができます。KLA 2367は、高速LEDソースを使用して最大スループットを達成し、また、前面および背面の両方の検査のために毎秒8マイクロメートルの検査速度を可能にします。また、フォーカスコントロール、ゲイン制御、アライメント補正などの高度な画像補正機能も備えています。さらに、TENCOR 2367には、欠陥の検査に必要なウェーハとマスクの回転量を大幅に削減するために設計された特殊な照明ツールがあります。この機能はまた、検査ライトへの長期露出から生じる可能性のある欠陥を排除します。2367は、優れた光学系および高度なパターン認識に加えて、統計プロセス制御（SPC）、欠陥分類、ポストレビューツールなど、さまざまな自動ソフトウェアおよびデータ分析を提供しています。これにより、アセットは大きな精度で重要な欠陥を検出してログに記録することができます。このソフトウェアには、トレーサビリティと統計分析の両方に適したカスタマイズ可能なレポートを提供する包括的なレポート生成機能も含まれています。このモデルには「Point&Look」モジュールも搭載されており、ユーザーはマスクとウェーハ上の特定の場所を素早く簡単に特定して検査することができます。これにより、手動顕微鏡やその他の技術が不要になり、より迅速な分析とより高い精度が得られます。さらに、KLA/TENCOR 2367装置を他の装置と統合することができ、包括的で自動化された解析プロセスを可能にします。最終的に、KLA 2367は比類のない欠陥検出と臨界寸法測定を提供し、幅広いフォトマスクとウェーハの検査を可能にします。
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