中古 KLA / TENCOR 2367 #9206183 を販売中

KLA/TENCOR 2367は、光学センサ技術とイメージセンサー技術を組み合わせ、優れた視覚化と欠陥検出を実現するマスクおよびウェハ検査装置です。このシステムには、マスクとウェハ検査用の2つの独立した6軸ステージエミュレータが含まれています。また、ブライトフィールド、ダークフィールド、UVイメージング用のUV光源も備えています。これは、複数の周波数でイメージングするための自動化されたプログラム可能な照明器と統合されたバックゲート機能を持っています。MIS （Mask Inspection Unit）は、高倍率で真の面積検査を行うための254mmの視野を備えています。ビューステッチやウェーブフロント計測などの高度な3D機能を備え、精密な検査とオーバーレイ機能を備えています。また、表面汚染や粒子などの小さな欠陥の明確な画像を識別してキャプチャすることもできます。ウェーハ検査ツール（WIS）は、アプリケーションごとにカスタマイズできる自己完結型アセットです。このモデルには、高解像度イメージングカメラと欠陥検出用の広視野光学、および表面イメージング用の複数の照明器が含まれています。WISには、直感的な操作のためのマルチタッチディスプレイとグラフィカルユーザーインターフェイスも含まれています。KLA 2367はマスクおよびウェーハの点検のための信頼できる装置です。プログラマブルコントロールと自動シーケンスにより、迅速かつ正確なスクリーニングが可能です。また、小さな欠陥タイプと簡単に転送可能な画像を識別するための高度な分析技術も備えています。システムはユーザーフレンドリーで、ダウンタイムとエラーの高いコストで製品を検査します。TENCOR 2367はマスクおよびウエハの製造業および半導体産業のための優秀な解決です。現在入手可能な最先端の技術で製品を検査し、効率と品質を向上させるための貴重なツールです。強力な機能と柔軟性により、サブレベルと表面レベルの両方の欠陥を短時間で簡単に検出およびキャプチャできます。自動化された操作と手動操作の優れたサポートを提供し、あらゆるプロジェクトの最高品質の成果を保証します。