中古 KLA / TENCOR 2367 #9197191 を販売中
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販売された
ID: 9197191
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2007
Inspection system, 12"
Wafer calibration kit include DSW / Shiny
Carrier ID HW Options
KEYENCE BCR single wire (2 CID devices)
Safety interlocks:
Open panel
Lamp
Facilities:
Power: 208V, 3 phase
Vw: 25 in Hg
CDA: 5 Sft/min
Exhaust: 600 ft3/min
Exhaust: 100 ft3/min
Exhaust: 1300 ft3/min
Integrated mini environment included
FEC Computer system with the following minimum features:
Intel pentium 4 CPU 3.00GHz
504MB memory (RAM)
Dell computer
Intel xeon CPU 3.4GHz
2GB Memory (RAM)
DVD-ROM
Mouse
Keyboard
IDM
InlineADC
ITF
Load port UI
MDAT
Mixed mode
NFS Data transfer
HSMS / GEM Semi E37 compliant ethernet interface:
HSMS (E5 / E30 / E37)
GEM/SECS Automation interface (E4 / E5 / E30)
SEMI E84
SEMI E116
Hokuyo sensors for use with:
Overhead transport (OHT)
Remote guided vehicles (RGV/AGV)
Auto switch for dual use environments
Basic automation package: E39, E87, E90 (Carrier management/wafer tracking)
Advanced automation package E40. E94 (Process job, control job)
Spatial population analysis:
Power options
Array segmentation
Patch images: 64x64
Pixel perfect
RBB
RBMT
Sensitivity tuner
NPA
Photo option:
FEM
PWQ
Interface:
Data transfer
DVD-R
Ethernet
23XX Options :
Pixel size:
Visible: 0.25/0.39/0.62
IV Broadband & narrowband: 0.12/0.16/0.20
Full sky: 0.12/0.16/0.20
Edge contrast: 0.12/0.16/0.20
Hardware optic :
BB Visible pixels (0.62 mm, 0.39 mm, and 0.25 mm)
BB/I-Line/G-Line UV pixels (0.20 mm, 0.16 mm, and 0.12 mm)
Edge contrast
1600 MP PS Image computer
Array / Random modes
High mag review optics
Anti-blooming TDI
High resolution review camera
General system info:
Loading configuration: FOUP
(2) Cassette
(2) FOUP Positions
System on-line: Yes
Line conditioner: Yes
Cables: Yes
Fan module: Yes
Shipping brackets installed upon deinstall: Yes
GEM/SECS Interface: Yes
Hard disk: 876G
Currently stored in cleanroom
2007 vintage.
KLA/TENCOR 2367は、チップ製造業界向けに設計された自動マスクおよびウェハ検査装置です。高度なイメージング、干渉測定、顕微鏡技術を組み合わせ、比類のない画像精度と性能を提供します。このシステムには、さまざまな設定可能なパラメータを備えたデジタル画像投影デバイスを収容するツールレベルのワークセルが含まれています。KLA 2367の統合された5軸キネマティクスは、同じ焦点を維持しながら、投影装置とサンプルを3軸にわたって高精度に移動させることができます。TENCOR 2367は、明るいフィールド、暗いフィールド、偏光照明を使用して、コントラストと反射の両方を提供し、エッジ欠陥、ファインライン切断、およびミスアライメント欠陥などの幅広い欠陥タイプのエッジ検出とマッピングを可能にします。2367はまた、コントラストの強化、ブロックとクラスタリング、画像セグメンテーションとマッピングのための高度なアルゴリズムを採用しており、最も微妙な異常を検出することができます。欠陥分類、ノイズリダクション、偽色コントラストなどの高度な画像フィルタリング技術を使用して、誤報の数をさらに減らし、ウェーハ検査の最高精度を保証します。ツールレベルには、カスタマイズ可能なインターフェイス、セットアップ、検査/校正、欠陥レビュー、プロセス最適化機能を備えたユーザーインターフェイスソフトウェアパッケージが含まれています。ユーザーインターフェイスは、グラフィカルディスプレイと多言語サポートと直感的なコントロールを組み合わせています。ユーザーインターフェイスには、迅速かつ簡単な画像レビュー、欠陥サイジング、さまざまなレポート機能を備えたロケーションマッピングが含まれています。レポートは、業界標準のフォーマットでカスタマイズおよびエクスポートすることができ、データ共有とストレージが容易になります。KLA/TENCOR 2367は、正確性と信頼性を考慮して設計されており、欠陥診断、レビュー、処理を迅速かつ効率的に実行するための機能を提供します。柔軟なモジュール設計と統合ソフトウェアにより、KLA 2367はウェーハおよびマスク検査アプリケーションに不可欠なツールです。
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