中古 KLA / TENCOR 2367 #9029088 を販売中

KLA/TENCOR 2367マスクおよびウェーハ検査装置は、さまざまな欠陥検査、オーバーレイ、およびCD計測アプリケーションをサポートするように設計された生産計測プラットフォームです。このシステムには、反射光クラスと送信光クラスの両方を備えたブライトフィールド照明器、デジタルカメラ、および強力なナノスケールの光アライメント機能が含まれています。このユニットは、最大入力分解能50ミクロンまでのスループット範囲で、2〜12インチのマスクとウェーハサイズのすべてのサイズのマスクとウェーハサイズに対応するように設計されています。KLA 2367マスクおよびウェーハ検査機は、高度な設計と性能機能の組み合わせにより、プロセス制御と欠陥検査に対する業界の厳しいニーズを満たしています。このツールは、非常に高速な自動マシンアライメントを提供し、反射光クラスと透過光クラスの両方を備えたブライトフィールド照明器を使用して、高解像度のフルフィールドイメージをキャプチャできます。また、パターン分類とアルゴリズム欠陥レビュー、およびウェハCDとコンタクトマスクデータの両方を入力としてシミュレーション結果と比較して欠陥レビューを自動化しています。TENCOR 2367の先進的な光学系は、チップからチップまでのCDおよびオーバーレイ測定のバリエーションを最小限に抑えます。さらに、アセットのアライメント/フォーカシング機能により、マスクまたはウェーハの正確な配置と各ショット内のアライメントが可能になります。統合されたパターン認識ソフトウェアは、ウェーハCDとコンタクトマスクデータを入力として高速マスクウェーハ欠陥分類とアルゴリズム欠陥レビューを可能にします。2367モデルはまた、画像の取得と統合、サンプル/プロセス分析、データ管理、およびレポート作成のためのソフトウェアアプリケーションとツールの配列で動作します。これらの各アプリケーションは、各ウェーハメトロロジープロジェクトの目的を収集、分析、および通信する統合された機能を提供します。このソフトウェアは、移植性、柔軟性、拡張性に関するお客様の要件に対応するように設計されています。KLA/TENCOR 2367は、高度なテクノロジーノード向けの信頼性とコスト効率に優れた計測ソリューションです。この装置は、手動による介入なしでインテリジェントな操作を提供し、リアルタイムのフィードバックと診断を自動化して最適な測定性能を保証します。統合システムは、1つのウェーハから次のウェーハへの迅速なセットアップとシームレスな移行のために設計されており、高品質で堅牢な検査結果を簡単に生成できます。