中古 KLA / TENCOR 2367 #293817504 を販売中

KLA/TENCOR 2367マスク&ウェーハ検査装置は、半導体製造用に特別に設計された高精度の自動ウェーハおよびフォトマスク計測および検査システムです。このユニットは、フォトマスクおよびベアシリコンウェーハ表面を生産ラインで検査するための高速で信頼性の高いソリューションを提供します。KLA 2367マシンは、高度なインクジェット技術を使用して、紫外線（UV）蛍光検査の配列をフォトマスクまたはウェハに堆積させます。これらのマーカーは、相補的な充電結合デバイス（CCD）アレイカメラによってイメージされるフリンジパターンを生成するハイパースペクトル光源によって照らされます。フリンジパターンは、フォトマスクまたはウェーハの表面プロファイルを推定するために使用され、ユーザー定義の仕様と比較されます。このツールは、ソフトウェアアルゴリズムを使用してデータを処理および分析し、表面の異常や特徴を検出します。TENCOR 2367マスク&ウェーハ検査アセットには、半導体生産の精度と生産性を向上させるためのいくつかの利点があります。モデルは、マスクパターン認識のための最適な視野範囲と焦点の深さを提供するために配置されている複数のCCDカメラで構成されています。これにより、測定精度が向上します。ウエハ検査には、UV分光法を使用して、ウエハフラット、ワープ、ピンスポッティング、ステップ高さを検出します。このシステムは、改行、ゲートブリッジ、酸化結節などの一般的な欠陥を検出するようにプログラムされています。また、オプションのオートメーションオプションにより、正確な検査のために、光源と相対的にウェーハまたはマスクの位置を自動的に一致させることができます。2367マスク&ウェーハ検査機は、半導体メーカーが製品の品質管理を確保しながら、全体的な検査コストを削減できる高度な生産性向上ソリューションです。このツールの強力なソフトウェアアルゴリズムは、ウェーハとフォトマスクの真の3D解析を提供し、高精度な結果を提供します。さらに、ワークフローを改善し、本番スループットを向上させるために、オプションのオートメーションモジュールで構成することもできます。