中古 KLA / TENCOR 2367 #293815941 を販売中

KLA/TENCOR 2367は、高度なプロセス制御と歩留まり管理機能を備えたマスクおよびウェハ検査装置です。このシステムは、厳格なプロセス制御と再現性により、マスクとウェーハの完全性が確実に達成されるように設計されています。マスクやウエハレベルの欠陥を検出するために、高速スキャン、画像処理、検査分析を統合しています。KLA 2367には、粒子レベルの欠陥と変動を検出する機能があり、ユーザーはプロセス制御パラメータを正確に監視し、適切な歩留まりを確保することができます。また、従来の検査プラットフォームでは検出されない可能性がある単一のスキャンの微妙な欠陥と変動を検出することもできます。このマシンは、自動アライメントとウェーハマッピング機能、および高感度の計測ツールを備えており、マスクとウェーハの再現性を最高の精度で実現するのに役立ちます。TENCOR 2367は、ブライトフィールドとダークフィールドの2つの検査モードを提供します。ブライトフィールド検査は、コントラストのばらつき、粒子レベルの欠陥、および半透明のフィルム欠陥を検出するように設計されています。また、ウェーハやマスクの歩留まりに影響を与える可能性のある粒子や汚染物質を検出することもできます。一方、ダークフィールド検査は、基板内のダークスポットやその他の非均一性だけでなく、粒子レベルの欠陥を検出するように設計されています。2367は、マスクやウェーハを検査するための高度な機能のホストを提供する強力な資産です。効率的な自動画像処理と使いやすい直感的なツールを備えているため、使いやすく維持できます。リアルタイムのプロセス制御と歩留まり管理を兼ね備えた高解像度機能により、重要なマスクおよびウェーハ検査要件に最適なソリューションです。高速スキャンレートにより、単一のスキャンで欠陥と変動を包括的に監視できます。これにより、クリティカルウェーハやマスクの正確で信頼性の高い歩留まりが得られます。