中古 KLA / TENCOR 2367 #293794239 を販売中

KLA/TENCOR 2367は、高精度のマスクおよびウェーハ検査装置です。非常に高度な制御と精度を必要とする環境に対して、迅速で信頼性の高い包括的な欠陥検査と分析を提供するように設計されています。このシステムは、3Dイメージング、スキャン、および画像解析アルゴリズムを組み合わせて、半導体マスクとウェーハの構造の欠陥を検出および分類します。KLA 2367は、独自の高精細画像技術を活用した強力な多軸ユニットをベースにしています。最大4軸のムーブメントに基づいて、フルフィールド3Dイメージングとスキャンエリアカバレッジを可能にします。メカニカルマシンは、4つの軸の動きを制御する高解像度エンコーダによって駆動されます。これにより、非常に高い精度で高速で多数の画像を取得することができます。TENCOR 2367で採用されている高度な3Dイメージング技術は、高解像度のイメージングと欠陥プロトコルの識別を担当しています。イメージングツールは、高度な画像解析アルゴリズムとともに、マスクとウェーハの構造の欠陥を検出および分析するために使用されます。このアセットは、ピット、チップ、骨折、傷、表面粗さなど、あらゆる種類の寸法、フィルム、および表面欠陥の自動欠陥識別を実行し、欠陥解析の詳細なレポートを生成します。さらに、2367は3Dで物体を測定することができる統合された計測モデルです。装置の精密プローブは測定を担当し、正確な位置精度と再現性を確保するためにコントローラに接続されています。測定は、システムの統合ソフトウェアによって分析され、報告されます。さらに、KLA/TENCOR 2367には、ユーザーにより大きな柔軟性と制御を提供する追加機能があります。例えば、自動オートフォーカスユニットを搭載しているため、スキャンフィールド全体に正確に集中でき、手動調整が不要です。さらに、このマシンは高速スキャンのための「高速モード」スキャンオプションと、対象となる個々の領域を設定する機能を備えており、迅速でターゲット化された欠陥特性評価を可能にします。全体として、KLA 2367はマスクおよびウェーハの検査および分析のために設計された先進的なツールです。精密なモーションコントロールと計測を組み合わせた高度なイメージングおよび画像解析技術を使用して、迅速で信頼性の高い正確な欠陥の識別と特性評価を提供します。