中古 KLA / TENCOR 2365 #9251385 を販売中

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ID: 9251385
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2006
Inspection system, 8" 2006 vintage.
KLA/TENCOR 2365マスクおよびウェハ検査装置は、幅広い自動検査タスクを容易にするように設計された、高度に自動化された、高精度のイメージングツールです。このシステムは、高速、高解像度のイメージング、分析、相関、認識タスクを可能にするさまざまな最先端の機能を備えています。KLA 2365は、マルチフィールド、マルチコントラストイメージング、ストロービング、ダークフィールド、その他の高度なイメージング技術など、幅広い画像取得モードを備えています。このユニットは、マスク基板の自動アライメントを可能にするように構成することができ、最大500mm/秒のスキャン速度を可能にします。さらに、レンズ設計は、小さな作業フィールドと1 μ mまでの非常に高い解像度を提供するように構成されています。TENCOR 2365には統合された画像解析スイートがあり、ファジー欠陥検出と正確な欠陥認識の両方のための高度なツールを備えています。このツールは、迅速で自動的な相関と認識タスクを可能にします。これには、単一のCCDイメージングサイクル内の粒子、傷、傷、高、低、デュアルサイドの欠陥など、多数のオブジェクトの画像を検出、検出、認識する機能が含まれます。2365はまた、リアルタイムのオンライン欠陥レビューとリスト編集機能も備えています。これにより、検査後のレビュー手順なしに、ライブ製品のパフォーマンス監視と改善が可能になります。KLA/TENCOR 2365マスクおよびウェハ検査機は、高度な半導体デバイス検査市場のニーズを満たすように設計されています。マルチフィールド、マルチコントラストイメージング、ストロービング、ダークフィールドなど、さまざまな高度なイメージング技術を備えたこのツールは、最も包括的で正確なマスクおよびウェーハ検査ソリューションの1つとして際立っています。
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