中古 KLA / TENCOR 2365 #9237491 を販売中

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KLA / TENCOR 2365
販売された
ID: 9237491
ウェーハサイズ: 8"-12"
Defect inspection system, 8"-12".
KLA/TENCOR 2365はマスクおよびウェーハの点検のために設計されている半自動化された装置です。このシステムは、高性能なイメージング、レーザースキャン光学顕微鏡、ネットワーク機能を備えており、効率的なマスクおよびウェーハ検査を行うことができます。マスク、薄型ウエハ、フラットパネルディスプレイなどの大型基板の検査に最適化されています。KLA 2365の中心には、包括的な画像をキャプチャし、さまざまな基板に高精度の検査機能を提供する高度なCCDイメージングユニットがあります。このマシンは、Area、 Boundary、 Line、 Spotの4つの画像モードと、0。7〜5ミクロンの5つの画像解像度を提供します。この多目的イメージングツールは、厚くて薄い金属酸化物の層、薄い酸化膜、その他の複雑な材料の検査を可能にします。TENCOR 2365は、高度なレーザースキャン光学顕微鏡アセットも備えています。このモデルは、チップ全体で4。5ナノメートルの解像度で、高解像度の画像を生成することができます。スキャンやズームも可能で、ユーザーは機能レベルまで詳細を取得できます。さらに、2365には多くのネットワーク機能が搭載されています。EthernetおよびUSB 2。0インターフェイスを搭載しており、他のKLAシステムとネットワーク接続することができ、さまざまなユニット間でデータと画像を共有できます。KLA/TENCOR 2365は、薄い基板と厚い基板の両方の欠陥、不適合、異物を検出することができる汎用性の高いマスクおよびウェハ検査装置です。CCDイメージングシステムとレーザースキャン光学顕微鏡は、4。5ナノメートルの解像度で高精度の検査を提供します。さらに、ネットワーク接続が可能で、EthernetやUSB 2。0インターフェイスなどの機能や、他のTENCORシステムをサポートしているため、効率的なデータと画像共有が可能です。
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