中古 KLA / TENCOR 2360 #293606935 を販売中

KLA/TENCOR 2360は、困難なパターン形状の欠陥を検出および識別するために設計されたマスクおよびウェハ検査装置です。高速データ解析とスループットの向上により、高精度の自動検査を提供します。このシステムは高度に構成可能で、さまざまなアプリケーションのニーズに対応するように設計されたさまざまな統合モジュールを備えています。KLA 2360の主な構成要素は、イメージセンサー、クロマティックイメージング技術、光学サブシステムです。イメージセンサは、検査されたパターン化されたジオメトリの2次元画像を記録するラインスキャンカメラの可変数で構成されています。クロマティックイメージング技術は、この画像データを処理し、さまざまなアルゴリズムを使用して潜在的な欠陥フィーチャーを分離します。潜在的な欠陥の特徴が識別されると、光学サブシステムは特徴を評価し、それらの存在または欠如を確認します。TENCOR 2360には、デバイスの自動分類や特徴識別、プロセス制御パラメータ、データ抽出アルゴリズム、および幅広いレポートオプションなどの高度な自動検出オプションも用意されています。さらに、ユーザーは、解像度や視野設定、画像強化ソフトウェア、プログラマブルロジックコントローラ、フィーチャーパラメータ抽出などのオプションを使用して、正確なアプリケーションニーズに合わせてユニットをカスタマイズできます。このマシンは、0。2ミクロンの小さな欠陥、複雑な形状パターン、汚染、ブリッジなどを検出できます。高度なイメージングおよび光学サブシステムにより、誤った欠陥検出を最小限に抑え、欠陥分離を改善します。また、強力なデータ解析により、大量の情報をリアルタイムでキャプチャおよび処理できます。2360はホスト制御システムの範囲への直接関係を可能にし、簡単なセットアップ、取付けおよび操作プロセスを提供します。このツールは、同時に複数のシステムをサポートするように設計されており、そのユーザーコンソールは2人の同時ユーザーのために2つに分割することができます。さらに、資産のコンポーネントは保守可能でアップグレード可能です。結論として、KLA/TENCOR 2360は、さまざまな欠陥を検出するように設計された高度に構成可能で自動化されたモデルであり、誤った欠陥の検出とデータ分析機能の向上が図られています。それは簡単なセットアップと操作プロセスを可能にし、カスタマイズされたアプリケーションのためのオプションと機能の範囲を提供します。