中古 KLA / TENCOR 2360 IS #9187557 を販売中

KLA/TENCOR 2360 ISは、ファウンドリおよび高度なロジックメーカーの要求に応えるように設計された堅牢なマスクおよびウェハ検査装置です。高度なアルゴリズムと高度な光学システムにより、これまでにないスピードと精度でマスクやウェーハの重要な機能を正確に識別し、測定することができます。完全なマスク検査機能により、1ナノメートルの精度でライン端の粗さ（LER）測定を含む高精度の欠陥検出を提供します。光源ベースの検査技術は、マイクロコンタミネーション反射防止コーティング（MARC）および薄膜、およびマスクの局所欠陥を検出します。また、システムは自動欠陥分類を実行し、プロセスによって引き起こされる欠陥を特定してフィルタリングし、全体的な誤報率を低減します。ウエハ検査機能には、高度な自動欠陥分離、マッピング、欠陥レビューツールへのインタフェースなどがあり、欠陥パターンの迅速な分析が可能です。また、低ノイズのマルチピクセルイメージングを採用しているため、シングルピクセル感度で欠陥を検出することができます。また、高速で高解像度のウェーハオーバーレイ計測、ニューラルネット分類、欠陥追跡アルゴリズムを提供し、さらなる精度を提供しています。KLA 2360 ISには自動光検査機（AOI）が搭載されており、ウェーハやその他の基板の包括的な検査が可能です。このツールは、フットプリント、ライン幅、クリティカル寸法（CD）、オーバーレイ、および崩壊検査の自動パターンマッチングおよびスポット検査を備えているため、製造メーカーは歩留まりとコストを削減できます。さらに、柔軟なソースアーキテクチャは、焦点外や前面外観解析など、さまざまなレベルの視野補正に対応できます。TENCOR 2360 ISは、セットアップとプロセス計画の支援のための高度なオートメーションシステムを提供します。その自動キャリブレーション機能を使用すると、アセットをジョブ固有の要件に迅速かつ正確に調整できます。これにより、手動校正の必要がなくなり、時間とコストを節約できます。ユーザーフレンドリーなGUIにより、ユーザーは最小限のトレーニングでモデルを構成して操作することもできます。全体として、2360 ISは強力で精密な装置で、マスクおよびウェーハの点検のための性能そして効率の貴重なレベルを提供します。高度なアルゴリズム、洗練された光学、包括的なオートメーションにより、市場で最高のマスクおよびウェーハ検査システムの1つです。