中古 KLA / TENCOR 2351-UI #9275961 を販売中

ID: 9275961
ヴィンテージ: 2003
Wafer defect inspection system 2003 vintage.
KLA/TENCOR 2351-UIは、半導体製造プロセスへのインライン統合とオフラインのシステム強化を目的としたマスクおよびウェハ検査装置です。このユニットは、イメージングとダイの両方のレベルでウェーハと基板の完全な検査を提供します。これにより、ジョブやウェハロットショップでの多層マスクやウェーハの重大欠陥検査、重大欠陥検査、欠陥検出、プロセス変更の監視、プロセス制御と最適化を行うことができます。KLA 2351-UIには、高度な充電結合デバイス(CCD)と5軸ウェーハステージを搭載した高品質のイメージングマシンが搭載されています。イメージングツールは、0。1ミクロンの解像度と精度を提供します。このアセットには、高度なパターンマッチング機能、サイズと形状に基づいた欠陥の分離、高度なアルゴリズムによる正確な欠陥分類、自動欠陥修復、自動欠陥認識など、幅広い自動および手動機能も含まれています。このモデルの5軸ステージには、ユーザー定義のソフトウェアベースのプログラム可能なモーションプロファイルと、ウェーハの動きのリアルタイム制御が含まれます。これにより、ウェーハを高速で正確かつ正確にスキャンでき、移動時間が非常に短くなります。TENCOR 2351-UIは使いやすい操作を提供するように設計されており、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスにより、ユーザーは機器の操作をすばやくセットアップ、構成、および監視することができます。システムに内蔵されたレポート機能により、欠陥情報とリアルタイムデータのグラフィカルレポートを生成できます。2351-UI装置は半導体製造のあらゆる段階で品質保証を提供するように設計されています。これは、簡単な操作、強力な性能、正確な欠陥検出、すべてのコンパクトなデザインを備えています。この機械は半導体生産に最適であり、生産ラインのプロセスをサポートするために使用されます。
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