中古 KLA / TENCOR 2350 #9254021 を販売中

KLA/TENCOR 2350は、半導体製造の最も要求の厳しい要件のために設計されたマスクおよびウェハ検査装置です。KLA 2350は、高度な光学システム、優れたイメージング性能、および統合された粒子検出により、欠陥検査および計測のための包括的なソリューションを提供します。TENCOR 2350は、高速で高解像度のイメージングカメラを使用して、マスクまたはウェーハの明るいフィールド画像をキャプチャします。これらの詳細な画像は、パターンのばらつき、線幅、その他の不適合など、欠陥のリアルタイムで分析されます。また、洗練された粒子検出機を搭載し、最も複雑な表面でも粒子を検出することができます。2350は、高度な光学ツールを備えており、高い数の開口部と高倍率の両方を提供することができます。この特徴の組合せはマスクおよびウェーハの特徴の点検のために非常によく適しています。さらに、照明アセットにはフロントとバックライトの構成が含まれており、幾何学的特徴、表面汚染物質、欠陥を最適に視覚化できます。KLA/TENCOR 2350は、高感度デジタル信号処理モデルを搭載しています。この装置は、アルゴリズムを使用して欠陥分類を行い、高精度の欠陥測定を行います。このシステムはクローズドループ方式でも動作し、連続欠陥モニタリングを可能にし、全体的な検査精度を向上させます。KLA 2350は、線幅、サイドウォール角度、その他のパターン関連の欠陥など、さまざまな特徴を測定することができます。このユニットは、異物や材料を検出するだけでなく、オーバーレイ精度を計算するためにも使用できます。高度なレポート機能により、ユーザーは簡単にデータを取得し、リアルタイムレポートを生成し、他のツールと結果を伝達することができます。全体として、TENCOR 2350は強力で信頼性の高いマスクおよびウェハ検査機であり、半導体製造の最も困難な要件を満たすように設計されています。高度な光学、優れたイメージング機能、デジタル信号処理ツール、および統合された粒子検出により、2350は欠陥検査と計測のための包括的なソリューションを提供します。