中古 KLA / TENCOR 2350 #9250244 を販売中

KLA/TENCOR 2350マスクおよびウェーハ検査装置は、マスクおよびウェーハ上の複雑な形状および特徴サイズを測定するために使用される強力な表面検査ツールです。MEMSや3Dデバイスなどの複雑な集積回路（IC）構造の検査に最適です。KLA 2350は、マイクロパターン、ボイド、コンタクトホール、アンダーカット/オーバーカットジオメトリ、スキップ、ブリッジング、パーティクルなどの幅広い機能と構造を正確に検出するように設計されています。25nmまでの線幅、70nmまでのラウンド、80nmまでの正方形、100nmまでの長方形など、さまざまなパターンを測定できます。このユニットは、1つのウエハに複数のレイヤーと同様に、正方形と非正方形のレイヤーの両方の精密な表面解析を提供できます。TENCOR 2350マシンには、128の独立したチャネルを備えた高解像度5µmランダムアクセススキャンヘッドが装備されています。各チャネルは個々の傾きと折りたたみを追跡し、正確で再現性のある測定結果を保証します。マスクやウェーハ表面の重要な構造を検査するために特別に開発された最先端の画像処理ソフトウェアスイートが付属しています。直感的なユーザーインターフェイスは、ユーザーがすぐに開始し、簡単に検査設定を構成し、実行するのに役立ちます。2350は単一の道の広い表面を点検するために高速点検用具を提供します。その分野証明されたアーキテクチャは信頼でき、反復可能な結果を作り出します。このマシンには高度なコンピュータアルゴリズムが搭載されており、最も細かい欠陥をすばやく検出できます。全体として、KLA/TENCOR 2350マスクおよびウェーハ検査アセットは、正確で再現性のある表面検査結果を提供するために設計された信頼性の高い強力なツールです。最も微細な欠陥を識別することができ、さまざまなマスクおよびウェーハ検査アプリケーションに最適です。