中古 KLA / TENCOR 2350 #9184410 を販売中
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販売された
ID: 9184410
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2001
Imaging inspection system, 8"
Type: SMIF
Robot: Dual SMIF EFEM, 8"
GEM SECS and HSMS
Signal light tower
XENON Lamp: 150 W
Wave length illumination: 370 ~ 720 nm
Wave length band: Visible, UV, I-line
Pixel size: 160 ~ 250 nm
Stage: X, Y, Theta
(48) IMC Boards
MM2M and MM2S
Missing parts:
UI Main power cable
SOC Solenoid
2001 vintage.
KLA/TENCOR 2350は、半導体産業のために特別に設計された最先端のマスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、チップやウェーハの性能に影響を与える可能性のある汚染物質、欠陥、その他の欠陥を検査するために特別に設計されています。このユニットは、高度な光学技術とデジタルイメージング技術を組み合わせて、マスクまたはウェーハの前面と背面の両方を検査し、最も包括的な検査システムの1つです。KLA 2350は、4台のカメラを使用して、正確な3Dイメージングと正確な欠陥位置を実現します。この機械は、さまざまな検査モードに4波長の照明(3つの明るいフィールド、1つの暗いフィールド)を使用しており、粒子、傷、亀裂、ピット、およびその他の不規則に形成された粒子などの欠陥を正確に検出できます。このツールのハイエンド光学系は、湿った粒子の正確な検出にも適しています。TENCOR 2350は、検査を簡単かつ正確に行うための幅広い機能を備えています。これらの機能には、マスクとウェーハの自動ロードとアンロード、高度なパターン歪み検出、複数の照明レベル、および光制御アセットが含まれます。このモデルには、欠陥分析とレポート作成のための高度なソフトウェアも含まれており、ユーザーは問題をすばやく特定してトラブルシューティングすることができます。2350はまた、粒子や液体の汚染物質などのプロセス内汚染物質に対する保護を提供します。内蔵のコンタミネーション回避装置は、検査エリアから入ってくる粒子をスクリーンアウトし、すでにシステムに入っている粒子を検出することもできます。これにより、ウェハとサンプル材料の両方の安全性が保証されます。全体として、KLA/TENCOR 2350は高度で柔軟性の高いマスクおよびウェハ検査ユニットです。その優れた光学系、デジタルイメージングシステム、高度なソフトウェアは、汚染や欠陥を特定して対処するのに理想的です。機械の詳細なリアルタイムレポートと高度なイメージングツールにより、ユーザーは最高レベルの製品品質を達成できます。
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