中古 KLA / TENCOR 2350 #9136721 を販売中

KLA/TENCOR 2350マスクおよびウェーハ検査装置は、高性能な検査プラットフォームであり、正確で反復可能で自動化された多層誘電体および計測測定を提供します。このシステムは、ダイオード、OCT、線形可変回折格子（LVDP）など、リソグラフィ市場の特定のニーズに合わせて開発された特殊光学系を利用しています。KLA 2350は、レチクルとウェーハ上の誘電体の反射率と散乱の両方を測定することができます。355ナノメートルから730ナノメートルまでの波長範囲を調整できるため、幅広い材料や用途での検査に適しています。高いダイナミックレンジと優れた感度を持ち、0.4µmまでの解像度で画像を提供できます。検査ユニットには、ウェーハ部分欠陥解析、レチクルプルスルー解析、誘電プロファイル測定など、いくつかの専門的なプログラミングアルゴリズムも含まれています。Mura検出、自動アライメント、イメージステッチなどの強力な画像処理およびデータ分析機能と統合されています。このマシンは、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを備えており、ユーザーは簡単にインストゥルメントにアクセスし、設定し、制御することができます。また、外部データベースへの接続も可能で、プロセスデータを品質管理プログラムに簡単にリンクできます。TENCOR 2350は、一貫した結果を提供し、変動性を低減し、高度なフォトマスクおよびウェハプロセスの欠陥を検出する時間を短縮するように設計されています。高度な画像処理機能により、リアルタイムで欠陥を迅速に検出および分析できます。さらに、統合された計測および自動解析ソフトウェアにより、1つのステップで正確で再現可能な誘電特性評価が可能になります。全体として、2350の検査資産は、半導体業界の信頼性と性能制御のための効率的で費用対効果の高いソリューションです。レーザー回折、OCT、ダイオードなどの高度な技術は、比類のない精度と再現性を提供します。統合されたソフトウェアと直感的なユーザーインターフェイスにより、市場で最も効率的で信頼性の高いシステムの1つです。