中古 KLA / TENCOR 219 SWD #293635821 を販売中

KLA/TENCOR 219 SWDは、半導体製造における品質保証のために設計された先進的なマスクおよびウェハ検査装置です。このマルチセンサシステムは、ナノメートルレベルの欠陥を検出し、ウエハサイズを最大300mmまで扱うことができます。KLA 219 SWDはインラインアプリケーション用に設計されており、4つのブライトフィールドと3つのダークフィールド光学を備えています。これにより、パターンシリコン層の5nm以下の欠陥を検出し、クラス最高の感度とスループットで毎時50ウェーハを検出できます。高度な独自のVideo Flexアルゴリズムにより、より包括的で正確な検査結果が保証されます。KLA Image Navigation Machine （INK）などの高度なイメージングおよび計測ツールを備えており、最高品質の欠陥検査、エッジ配置精度測定、および高度なマスク検査を実現しています。また、高度なセグメンテーション方法を備えており、実際の欠陥と誤報を区別することができます。さらに、ウェーハ検査パラメータは、同社のグローバルリモートツール（GRS）を介してリモートおよびリアルタイムで調整することができます。TENCOR 219SWDにはタッチスクリーンユーザーインターフェイスがあり、オペレータはシステムの切り替え、検査パラメータの調整、測定データの表示を簡単に行うことができます。ユーザーインターフェイスでは、高度な自動欠陥レビュー（ADR）および高度なイメージングオプション、および自動エッジ配置精度測定およびカスタマイズされた検査のための顧客定義アルゴリズムへのワンクリックボタンのアクセスも提供します。219SWDは、表面欠陥検出、マスクおよびウェハ検査、応力測定、ダイツダイ検査など、さまざまな特殊なスマート検査技術を提供しています。安全性と清潔性を念頭に置いて構築されており、200、300、 450mmのウエハサイズに適しています。最終的に、KLA/TENCOR 219SWDは、ナノメートルレベルの欠陥を検出する際にクラス最高の精度、再現性、効率を提供する、技術的に高度で信頼性の高い検査資産です。幅広い機能、自動化された機能、ユーザーフレンドリーなUIにより、半導体業界の品質保証に最適です。