中古 KLA / TENCOR 2139 #9244609 を販売中

KLA/TENCOR 2139は、ハイエンドマスク&ウェーハ検査装置です。集積回路ウェーハの検査、分析、測定用に設計されており、メーカーは異常を迅速に特定できます。このシステムは、液浸リソグラフィーやダブルパターニングなどの高度なリソグラフィープロセスでの使用に適しています。KLA 2139は、ユニークな光学ビームパスを使用して、欠陥や重要なパラメータを迅速かつ正確に検査します。その非常に正確なパターン認識、異常検出、およびリソグラフィーマスキングアルゴリズムにより、検査プロセス全体にわたって敏感なデバイスを精密に検査できます。このユニットは、自動欠陥分類、リアルタイム欠陥レビュー、プロセスエッジマッピングなどのさまざまな機能も提供しています。このマシンには、明るいフィールドや暗いフィールドなどの高度な照明技術、およびバックスキャッターイメージングや近紫外線イメージングなどのさまざまなイメージングモードが含まれています。これらの技術は、従来の検査では表示されないことが多い機能と詳細を明らかにするのに役立ちます。高度な照明、イメージングモード、パターン認識機能を組み合わせることで、迅速で解釈しやすく、情報に基づいた意思決定が可能になります。TENCOR 2139は、リソグラフィープロセス中の正確な位置決めに不可欠なアライメント、オーバーレイ、オーバーレイの偏差測定も実行できます。これにより、ウェーハ全体に適用されたレジストと解像度の一貫性のある厚さが保証されます。また、コストのかかるマスクの変更や再作業の削減にも役立ちます。このツールには独自のオートフォーカス技術が搭載されており、各ショットの前にウェーハに自動的にフォーカスすることでイメージング時間を短縮します。その硬質花崗岩ベースの構造と振動分離アセットは、高密度生産環境でも寸法公差を抑えます。使いやすさ、高度な機能、柔軟性を備えた2139は、高度なリソグラフィおよびマイクロエレクトロニクス製造に最適なツールです。