中古 KLA / TENCOR 2139 #9230684 を販売中
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ID: 9230684
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2000
Wafer inspection system, 8"
Open cassette
User interface
Monitor with PC
Stages:
X Stage bracket
Theta stage
Image computer:
IMC0
IMC1
IMC2
IMC3
Power supplies:
+12 VDC E-Drawer
24 VDC E-Drawer
-24 VDC E-Drawer
+48 VDC E-Drawer
+65 VDC E-Drawer
2000 vintage.
KLA/TENCOR 2139装置は、フォトマスク製造の上流および下流のウェハプロセスの欠陥を検出するマスクおよびウェハ検査ソリューションです。このシステムは、イメージングポート、マスクアライナー、高度な光学および照明システム、およびフォトマスクの微妙で重要な欠陥を検出するための高度なアルゴリズムを組み合わせて提供します。KLA 2139のイメージングポートは、光の反射の違いを検出してユーザーに表示することにより、フォトマスクの高解像度イメージングを提供します。フルフレーム検査機能を備えており、検査領域全体の完全なカバレッジを保証し、0。25マイクロメートルの小さい特徴を検出することができます。その光学および照明システムには、高度なビーム偏向、直接/可変焦点、斜めの照明、および微妙な欠陥を正確に捕捉するためのバックスキャッター/スルートランスミッションが含まれます。一方、マスクアライナーは、マスクとウェーハの正確なアライメントを確保します。TENCOR 2139は、マスクおよびウェーハ検査に特化した機能を提供する洗練されたソフトウェアプラットフォームを備えています。その高度なアルゴリズムにより、フォトマスク上の欠陥の自動検査が可能になり、誤った兆候からの純粋な欠陥の効率的なソートが可能になります。単位は点検されるあらゆる分野の焦点位置を自動的に集める理性的な自動焦点機械を含んでいます。また、直感的な操作を可能にし、生産性を向上させるコンテキストに敏感なコマンドも備えています。全体として、2139ツールはフォトマスクプロセスの欠陥を検出するための理想的なソリューションであり、マスクやウェーハを検査するための費用対効果の高い効率的なソリューションを提供します。高解像度イメージング、高度な光学照明システム、信頼性の高いマスクアライメント、高度なアルゴリズムを組み合わせて、フォトマスクプロセスの正確で正確で信頼性の高い検査を保証します。
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