中古 KLA / TENCOR 2139 #9230528 を販売中

KLA/TENCOR 2139は、マスクおよびウェーハ部品の製造プロセス全体にわたって正確に測定および検査するように設計されたマスクおよびウェーハ検査装置です。精度と再現性を備えた高速で非破壊的なウェーハ検査、およびエッジプロービングや高速欠陥特性評価などの独自の機能を備えています。システムの中心には、高度な光学ユニットがあり、1時間あたり最大50ウェーハのエリアカバレッジレートで17µmまでの高解像度ウェーハイメージングを可能にします。独自のデュアルターゲットCCD検出器により、幅広い要件に対応するために、幅広い種類のイメージングモードから最適化された信号からノイズ性能まで、高速で大きな非破壊画像を実現します。KLA 2139は、正確な高さ測定と3方向比較による自動欠陥特性評価を提供し、ユーザーは特定の欠陥をすばやく区別することができます。高度な制御ソフトウェアにより、2次元と3次元の両方の画像を異なる角度で同時に比較することが可能になり、ウェーハの表面と下部の両方の属性についての洞察を得ることができます。また、メモリデバイスの製造に使用される低kウェーハ上のデュアルサイド構造や多深度パターンフィルムの欠陥をすばやく検出できる独自のオフアクシスビューイング技術を搭載しています。この技術は、非軸技術で測定が困難な接触エッチングストップレイヤー（CESL）やゲート酸化物層（GO）の特性評価に特に適しています。TENCOR 2139には、ウェーハの両側を同時または個別に処理する構成で、自動または手動のウェーハ処理のオプションも含まれています。このツールはまた、優れた欠陥のあるウェーハを迅速かつ効率的に分離する自動化された正確なビンニングオプションを備えています。結論として、2139は、堅牢で高度に構成可能なパッケージで、マスクおよびウェーハ検査用の優れたイメージングおよび分析技術を提供しています。高度なイメージングおよび欠陥特性評価アセットにより、コンポーネントの欠陥を迅速かつ正確に特定し、製造プロセスを最適化できます。