中古 KLA / TENCOR 2139 #9190703 を販売中

KLA/TENCOR 2139は、高度な半導体生産ライン向けに設計された洗練された自動マスクおよびウェーハ検査装置です。ブライトフィールドイメージングシステム、電動XYZステージ、および超高分解能のビジョンユニットを搭載し、従来の方法と比較してわずかなコストで高速検査が可能です。KLA 2139は、マスクとウェーハの高解像度イメージングを実現するために、明るいフィールド照明と電動XYZステージを利用しています。複数の光学イメージングビューを使用することで、ステッチ、コンタクトライン、その他のマイクロフィーチャーなど、ウェーハまたはマスクの表面特性を検査する際に柔軟性を提供できます。TENCOR 2139のビジョンツールには、200nmまでの解像度を向上した高性能プロセッサが搭載されており、オペレータはマスクやウェハの最小欠陥を容易に検出できます。CCDカメラおよび顕微鏡レーザーは正確な分析を保障するために強度および決断の両方で変わることができます電動XYZの段階は異なった区域の速い位置そして点検を可能にします。さらに、2139には、ピット、ビーズ、黒点などのさまざまな欠陥を正確に認識できる高度な欠陥検出および分類ソフトウェアが装備されています。これらの機能により、アセットはウェーハを迅速かつ効率的に識別および分類することができます。さらに、KLA/TENCOR 2139は、エラーや欠陥を迅速かつ簡単に処理するための高度なウェハレベルの欠陥レビューおよび編集ツールを提供します。検査の結果を整理し、さらなる分析のためにフィルタリングすることができます。このモデルには、自動ステッチ、コントラストの強化、さらに精度を向上させるためのパターン認識など、一般的に使用される画像処理アルゴリズムのライブラリも含まれています。KLA 2139は、ウェーハの表示と歩留まりの最適化に最適な装置で、迅速かつ正確な検査を可能にします。このシステムは、拡張機能を備えており、さまざまなタイプのマスクおよびウェーハ設計を正確かつ確実に検査するための理想的なソリューションです。