中古 KLA / TENCOR 2139 SMIF #96702 を販売中
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タップしてズーム
販売された
ID: 96702
ウェーハサイズ: 6" or 8"
ヴィンテージ: 2000
Inspection system, 8"
SECS II/GEM Communication Interface
Pentium III dual processor CPU with Windows NT Installed
NT box option-direct link/direct SECS
FeB dissociation light assembly
Mercury Xenon Lamp
Light level sensor with adjustable 2x Mag Tubes
X/Y/Z drive/controller chassis and motion controller card
High voltage electronics
Granite stage
Autofocus III with 200mm Collimating Lens
Standard Chuck
15 inch Sony Monitor
15 inch Image Computer monitor
User Interface Monitor
Left or Right hand side User interface
Remote Power Distribution Panel
Wafer handling module
Cassette ergo loaders
Auto Defect Calibration enable option
Direct Link hardware with ADC review optics
EMO s with switch covers
Specifications
1) UBB, Ultra Brightfield illumination
2) High Numerical aperture (NA) optics
3) Spotsize: 0.16um,0.25um,0.39um,0.625um & 5um
4) SAT (Segmented Auto Threshold)
2000 vintage.
KLA/TENCOR 2139 SMIFは、他のシステムよりも優れた最先端のマスクおよびウェーハ検査装置です。KLA 2139 SMIFの印象的な機能と機能は、市場で最も正確で信頼性が高く、費用対効果の高いシステムの1つです。TENCOR 2139 SMIFは、高度なスキャン技術により、高度なウェーハ検査機能を提供します。サイズや形状に関係なく、ウェーハ上の欠陥を検出・識別することができます。2139 SMIFで使用される高度なアルゴリズムは、市場で入手可能な最高の精度と再現性を提供することができるウェーハのリアルタイム検査を可能にします。KLA/TENCOR 2139 SMIFはKLA分光システムとも互換性があり、処理材料の最先端の特性評価を可能にします。これにより、プロセッサは、プロセスで使用される材料の物理的特性をこれまでにない詳細に測定し、理解することができます。このデータは、運用条件の最適化、歩留まりの向上、高い生産スループットの確保に使用できます。KLA 2139 SMIFは他のシステムよりも使いやすいように設計されています。マシンに付属している直感的なソフトウェアは、セットアップと使用が簡単になります。ユーザーフレンドリーなインターフェイスにより、ツールの機能と機能を簡単にナビゲートできます。この資産はまた、結果追跡と分析機能の包括的なスイートを提供しています。このモデルによって生成されたデータは、プロセスの傾向を追跡するだけでなく、生産上の問題のトラブルシューティングと解決にも使用できます。このデータはグラフィカル形式と表形式の両方で利用でき、ユーザーはプロセスの効率性に関する洞察を得ることができます。TENCOR 2139 SMIFは、信頼性が高く、費用対効果が高く、ユーザーフレンドリーな機器で、業界をリードする精度、再現性、分析機能を提供します。このシステムは、信頼性の高いデータを提供することで生産プロセスの改善を支援し、プロセッサが迅速に問題を特定し解決するのを支援します。直感的で使いやすいインターフェイスと他のツールとの統合機能により、2139 SMIFは優れた結果をもたらす合理化されたユニットを探しているプロセッサにとって理想的なソリューションです。
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