中古 KLA / TENCOR 2138 #293767168 を販売中

KLA/TENCOR 2138は、高度なフロントエンドプロセス制御と欠陥検査を提供するマスクおよびウェハ検査装置です。このシステムは、450 mmウェーハと196 mmマスクを処理するように設計されており、20 nm以下のテクノロジーノードで最も厳しい要件に対応しています。KLA 2138ユニットには独自の「ブライトフィールドチャネル」機能があり、100種類以上の信号タイプをサンプリングし、最大0。6ミクロンの解像度でマスクとウェーハ表面の詳細な画像を提供できます。この機能は、高解像度の画像により、機械が最小の欠陥を検出することができるため、欠陥検査プロセスを改善することが期待されます。さらに、TENCOR 2138は、明るいフィールドコントラスト画像技術を使用して、特徴と構造の最も微妙な違いを強調します。これは、パターン密度の微妙な変化を検出し、降伏損失につながる可能性のあるマスクレイアウトに役立ちます。2138ツールはさらに「Write-on-Demand」プログラム可能なレイアウトエディタ機能を提供します。この機能は、多層配線や技術間転移のための高密度レイアウトの作成など、複雑で高度なマスクレイアウト操作をサポートします。KLA/TENCOR 2138は高精度のopto機械段階を組み込みます；そのモーターを備えられた段階はウェーハの点検の間に非常に精密なスキャン制御を提供します。このアセットには、取得した画像がサンプル表面に集中していることを確認する自動焦点制御モデルもあります。さらに、KLA 2138は高度なベベルおよびエッジ検出機能を備えており、サンプルのエッジとベベルのパターンを正確に識別できます。この機能は、信頼性の高いDPPM（ディフェクト・パー・ミリオン）解析を提供し、サンプル全体のダイの性能を予測するように設計されています。最後に、TENCOR 2138は、効率的なサンプルイメージングを容易にする「対称管理」機能により、カスタマイズを次のレベルに引き上げます。このシステムは、パターンタイプとサンプルサイズに基づいて最適な結果を提供するように構成することができるブライトフィールドダークフィールド検査ユニットを提供します。全体として、2138マシンは高度なマスクおよびウェーハ検査ツールで、高解像度のイメージング、プログラム可能なレイアウトエディタ、正確なスキャンおよびフォーカス制御、正確なベベルおよびエッジ検出、およびカスタマイズ可能な自動欠陥解析機能を提供します。マスクやウェーハの製造工程の精度とスループットの向上が期待されます。