中古 KLA / TENCOR 2138 #192497 を販売中

KLA/TENCOR 2138は、ウェーハやマスク上のさまざまな欠陥や異物を検出するために設計された高性能の自動マスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、高度な計測法と非破壊検査技術を組み合わせて効果的な検査を行います。このユニットは、高解像度顕微鏡イメージングとスキャンレーザー技術を組み合わせた高度なデュアルセンサーアーキテクチャを採用しています。光学顕微鏡は従来のデジタルイメージング技術よりも大きな解像度とコントラストを提供し、レーザースキャニングマシンは欠陥を検出するためのより正確な方法を提供します。2つのセンサが連携して、信頼性の高い正確な検査機能を提供します。KLA 2138には、欠陥認識と特性評価を最適化するために設計された強力な画像取得および処理ソフトウェアが搭載されています。このソフトウェアは、エッジ検出、欠陥認識、オートフォーカス、画像強化技術などのさまざまなアルゴリズムを使用して、最も困難なパターンであっても、欠陥や異物を迅速かつ正確に識別します。このツールは、サイズ、形状、位置など、さまざまな測定パラメータを提供します。この機密資産は、基盤となるデバイス構造に影響を与えることなく、12ナノメートルと小型の欠陥を検出することができます。また、235ナノメートル以下の信号を検出し、3次元で測定することもできます。TENCOR 2138はマスクおよびウエハを点検するための信頼でき、有効な器械であるように設計されています。それは欠陥および異物の検出の比類のない正確さそして信頼性を提供します。ウエハサイズや表面仕上げタイプに応じて様々な材質の検査が可能です。また、故障解析、ライフテスト、損傷検査など、さまざまな検査タスクを実行することができます。複数の検査の必要性を減らし、検査コストを削減し、歩留まりとスループットを向上させるように設計されています。