中古 KLA / TENCOR 2138 #191650 を販売中

KLA/TENCOR 2138は、マスクやウェハ基板上の残骸、エッジロールなどの欠陥を正確に検出するために設計された洗練されたマスクおよびウェハ検査装置です。このシステムは、さまざまな自動検査技術を実行することができ、非常に特定の解像度と感度レベルで動作するように構成することができます。KLA 2138は、さまざまな用途に適した汎用性の高いユニットです。ユーザーは、ウェーハまたはマスク基板の両側に単一の検査でアクセスできる両面スキャン機能を利用できます。このマシンは最大の効率を目指して設計されており、ユーザーは数分で検査を完了することができます。TENCOR 2138ツールに含まれる2つの主要な検査コンポーネントは、高解像度顕微鏡とそのレーザーフードであり、検査されるサンプルの3次元マップを作成するために使用されます。この顕微鏡は、人間の目に気づかれないようなマスクやウェーハの小さな欠陥を検出するために、フードと一緒に動作します。これは、問題の材料をサブミクロン分解能でスキャンすることによって達成されます。ユーザーは、解像度と感度の点で正確な仕様に検査をカスタマイズすることを選択できます。2138の顕微鏡を使用して行われた検査は非常に正確であり、欠陥検出率は95％、誤検知率は1％未満です。資産は、破片やその他の欠陥の有無を単に検出するだけではありません。また、形状、サイズ、向きの点で個々の欠陥を特徴付けることができ、検査された材料の徹底的な評価をユーザーに提供します。全体として、KLA/TENCOR 2138は、多種多様な小さな欠陥を識別し、特徴付けることができる非常に汎用性の高い信頼性の高いマスクおよびウェハ検査モデルです。KLA 2138は、両面スキャン機能、カスタマイズ可能な検査、および高精度を備えており、マスクとウェーハ基板の仕様を確認するために必要なツールです。