中古 KLA / TENCOR 2135 #9389838 を販売中

KLA / TENCOR 2135
ID: 9389838
Wafer inspection system.
KLA/TENCOR 2135は、産業用途に最適化された高度で耐久性の高いマスクおよびウェハ検査装置です。このシステムは、高レベルのオペレータの必要性を排除し、高いスループットと欠陥検出感度レベルで正確さを保証する包括的なインスペクター・イン・ア・ボックス・ソリューションを提供します。このユニットは、内部光源と画像解析プログラムを備えたトップカメラで構成されており、有効なデータと欠陥データの違いを迅速かつ正確に検出することができます。さらに、トップカメラの視野が広いため、ウェーハの広い範囲をスキャンすることができ、さまざまなマスクやウェーハサイズに適しています。KLA 2135は、フォトマスク検査、エッチング検証、ダイツインスペクションなど、幅広い工程で高速に動作するように設計されています。さらに、フォトマスクリソグラフィー、ダイスタックリソグラフィー、現場検査、高度なウェハ製造アプリケーションにも使用できます。TENCOR 2135はまた、高解像度の特徴を調べるために特別に設計されたイメージング検出器を使用しています。これにより、最小の欠陥でもキャプチャされ検出されるため、プロセスの整合性がさらに向上します。さらに、検出器は局所反射パターンの変化を最小限に抑えて検出することもできます。これにより、検査プロセスの柔軟性が向上します。このツールは、カラーユーザーインターフェイスとグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)を使用して、使いやすくメンテナンスも簡単です。これにより、より高いレベルのカスタマイズとユーザーの最適化が可能になります。さらに、2135はロボットチャンバーやサブシステムなどの他のコンポーネントと組み合わせることができ、さらに機能を強化することができます。最終的に、KLA/TENCOR 2135は、効率的で費用対効果が高く信頼性の高い資産を提供するため、マスクおよびウェーハ検査ソリューションに最適な選択肢です。そのような広い視野、高速、簡単なメンテナンスやユーザーインターフェイスなどの機能の組み合わせは、産業や製造の設定のための理想的な選択肢になります。
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