中古 KLA / TENCOR 2135 #9373035 を販売中
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KLA/TENCOR 2135マスク&ウェハ検査装置は、チップの収率を最大化しながら生産性を向上させるために設計された最先端のイメージングプラットフォームです。これは、市場の他のイメージングシステムと比較して最高の画質の解像度と精度を提供します。KLA 2135は、最大10ナノメートルの解像度でマスクやウェーハパターンを撮影できる高解像度デジタルイメージングカメラを搭載しています。これにより、スマートフォンやウェアラブルの回路のように小さいパターンや、非常に大きなシリコンウェーハをリアルタイムで検査することができます。このユニットは本当に「ライトアウト」可能で、最高の効率のために高度に自動化されています。TENCOR 2135には、さまざまな欠陥検出に最適化された高輝度白色光源が装備されています。これにより、回折欠陥や従来のフラットパターン欠陥などの画像アーティファクトを検出できます。また、非接触表面検査のための高性能エピ蛍光チャネルも備えており、ランダム欠陥や局所欠陥の検出が可能です。このエピ蛍光機能は、スポット、微小な異物、表面エッチング領域を検出することにより、半導体デバイスの歩留まりのスループットを向上させるのに役立ちます。2135は柔軟性と拡張性を考慮して設計されており、事前に構成された検査ツールセット、直感的なソフトウェアプラットフォーム、および複数の検出器インターフェイスオプションを備えています。測定機能により、ウェーハ上の重要な寸法を物理的なマークなしで検出できるため、デバイスの特性評価に最適です。最後に、KLA/TENCOR 2135は、お客様のニーズに合わせてカスタマイズすることができ、使いやすさは24時間365日の運用に最適です。KLAは、マスク&ウェハテストシステムの業界リーダーとして、半導体イメージングおよび特性評価において信頼性と費用対効果に優れた資産です。TENCORの革新的なイメージング技術を使用することで、ユーザーは歩留まりとデバイス性能の向上と高品質の製品を実現できます。このモデルは、さまざまな半導体デバイスのアプリケーションに最適であり、高度なパッケージングやMEMSなどのアプリケーションで使用することができます。
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