中古 KLA / TENCOR 2135 #9254151 を販売中
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ID: 9254151
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1996
Wafer inspection system, 8", parts machine
Missing parts:
TDI Module
PLLAD Module
1996 vintage.
KLA/TENCOR 2135は、バンパーからバンパーまでの直径8インチまでのウェーハを0。5ミクロン(500nm)の顕著な分解能で検査できる、汎用性の高い高度な自動マスクおよびウェーハ検査装置です。これは、ダイ面の重要な構造の最も正確で包括的なトポロジカルイメージングプロセスをキャプチャする高度なビームプロファイラとΦ5 mmの外観によって可能になります。計測精度とワークフロー精度を向上させるためのイメージコーディングを搭載しています。KLA 2135は、ステレオイメージングに加え、エアロゾル層イメージング(ALI)技術を採用しており、ほこりや汚染などの小さな粒子や欠陥を高解像度で検出する画期的な手法です。また、Low-lightからHigh-lightまで、最大6つの特性を備えた広範囲の照明均一性クラスイルミネーションユニットを内蔵しており、影やフレア効果のない最高の画質を実現しています。TENCOR 2135はまた、革新的なTFIA (Total Feature Image Analysis)技術により、複数のタイプの体系的なエラーを低減します。さらに、このマシンには、データ転送のための入出力設備だけでなく、強化された視覚監視のためのカラーマテリアルマップが提供されています。これには、検査から最適化までの機能を備えた独自のソフトウェアパッケージ7PiiQ付属しています。Visualize-itは、オペレータが問題を特定してトラブルシューティングするための高度な分析のユニークなセットを提供します。Predict-itは、ダイのビジョン特性にリンクされた自動電気、応力、および光学設計ルールチェッカー(DRC)として機能し、先端のエラーを即座に検出します。このソフトウェアを使用すると、設計規則違反を追跡および分析し、カスタマイズ可能なaccept/reject設定を定義することもできます。2135マスクおよびウェーハ検査ツールは、スピードとスループット、精度と解像度において他に類を見ない革新的な先進的ソリューションであり、半導体業界の中規模から大量生産に最適です。
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