中古 KLA / TENCOR 2135 #9252720 を販売中

KLA/TENCOR 2135は、KLAおよびTENCORのマスクおよびウェハ検査装置です。マスクフォトマスクと半導体ウェーハの両方を高速・高解像度・高精度検査できる先進システムです。このユニットは、イメージングマスクとウェーハ用のデュアルキャパシタンス充電結合デバイス（CCD）カメラを備えており、ピッチで最大2125 nmの高解像度画像を提供し、400 nsの高速露光時間を提供します。また、2つの発光ダイオード（LED）システムを備えており、2つの異なる波長で動作し、製品の絶対ピッチを一致させ、最も困難な欠陥も一貫した検出を提供します。KLA 2135は、最先端の半導体デバイスのゼロディフェクト生産を容易にするように設計されています。これは、欠陥を検出および分類し、複数のマスク層にわたって同様の欠陥間の接続をマッピングするための詳細な分析を備えた強力な検査プロセスを提供します。また、ダークフィールドおよびブライトフィールドイメージングを使用して、プリントスルー欠陥を含む重要な欠陥を迅速かつ正確に識別するための特別な高度な欠陥解析（ADA）ツールも備えています。さらに、TENCOR 2135は、パターンのシフトと線幅の変化を検出する革新的なパターン認識アルゴリズムを提供し、重要な設計の整合性を維持します。生産性を最大化するため、2135は高速ダウンロード速度、リアルタイム画像処理、自動化された金型検査、製品欠陥のリアルタイム評価を提供します。タッチスクリーンをサポートするグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）により、ユーザーはプロセスを簡単に設定し、データにアクセスし、複数のウェーハを同時に検査することができます。KLA/TENCOR 2135は、直感的で使いやすいGUIと特別な高度なソフトウェア機能によって実現されています。使いやすい機能により、あらゆるスキルレベルのオペレータは、高度なパフォーマンス機能をすばやく利用できます。結論として、KLA 2135は半導体産業のための高性能マスクおよびウェーハ検査資産であり、強力な欠陥解析機能を備えた高速で高精度のイメージングを提供します。その高度な機能とユーザーフレンドリーな機能により、大量の生産需要に最適です。